中国科学院知识创新工程(057X22C050)
- 作品数：1 被引量：7H指数：1
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- 相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 快速反射镜系统用光栅测微仪被引量：7
- 2011年
- 为了精确控制FSM系统中平面反射镜的偏转角度,研制了专用型光栅测微仪对其进行位置测量,以实现系统的闭环控制。在明确了FSM系统对测微仪应用需求的基础上,根据其技术原理,对光栅测微仪的小型滑轨、标尺光栅图案、指示光栅图案、绝对零位编码、指示光栅移相以及接触探头分别进行了设计与选择。经精密加工、装配、调试后,所得光栅测微仪的测量范围为±2.5mm,响应频率为1000Hz,全行程测量精度优于2μm,测量分辨力优于0.06μm,并能提供绝对零点位置。工程应用实践证明:该光栅测微仪具有高精度、高分辨力、高可靠性的特点,满足FSM系统的使用要求。
- 韩旭东徐新行王兵王恒坤刘长顺
- 关键词：光栅微位移测量增量式
