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西北工业大学基础研究基金(JC201102050)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
杨儒元
苑伟政
何洋
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相关机构:
西北工业大学
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发文基金:
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西北工业大学基础研究基金
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相关领域:
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机构
1篇
西北工业大学
作者
1篇
何洋
1篇
苑伟政
1篇
杨儒元
传媒
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微纳电子技术
年份
1篇
2014
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离心芯片上虹吸阀的设计与制备
被引量:1
2014年
实现了一种离心式微流控芯片上虹吸阀的快速设计及制备方法。通过分析力学基本原理,设计了一种离心式微流控芯片上虹吸阀结构。采用数控精雕在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上直接加工出凹形结构,再通过溶剂辅助键合得到封闭的微流控芯片。相对于传统的MEMS工艺,这种方法大大节省了加工时间和成本。同时相对于大多数聚合物材料的疏水特性,PMMA的亲水性可以避免材料表面亲水改性问题,简化了虹吸阀制备的工艺流程。该虹吸阀性能稳定,结构简单,能实现片上流体控制,为更加复杂的芯片提供了一种可靠的阀及一种快速制备方法。
杨儒元
苑伟政
何洋
关键词:
数控加工
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