您的位置： 专家智库 > >

浙江省科技计划项目(2006C31003)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：耿煜杨国光侯昌伦张巍更多>>
相关机构：浙江大学更多>>
发文基金：浙江省科技计划项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇微加工
  • 1篇刻蚀
  • 1篇光阀
  • 1篇光栅
  • 1篇光栅光阀

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇张巍
  • 1篇侯昌伦
  • 1篇杨国光
  • 1篇耿煜

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
光栅光阀器件的结构改进与制作工艺研究被引量：1
2009年
根据光栅光阀的工作原理,在结构上对传统的光栅光阀器件进行了改进,分析了改进后光栅光阀器件的光学特性、结构特性,以及制作工艺流程.改进后的光栅光阀结构中硅基底上设有二氧化硅隔离层,隔离层上沉积无定形硅作为牺牲层,可动梁的材料是氮化硅,固定梁为蒸镀的金属铝层.通过离子刻蚀的方法刻蚀图形,用化学腐蚀方法掏空牺牲层得到所需桥梁状结构.研究表明改进后的器件黑区范围小,驱动电压较低,光学效率较高,具有潜在的应用前景.
张巍耿煜侯昌伦杨国光
关键词：光栅光阀微加工刻蚀
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0