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国家高技术研究发展计划(405085)
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不同化学蚀刻法对石英基片激光损伤阈值的影响
2009年
为提高三倍频光学元件的表面损伤阈值,采用了不同方式对石英基片进行酸蚀刻,利用原子力显微镜观测了基片蚀刻前后的表面微观形貌,并在激光损伤测量装置上进行了R:1方式的阂值测试,比较分析了蚀刻前后基片激光损伤闽值和表面形貌的变化,并比较了不同抛光质量石英基片蚀刻效果的差异。通过实验研究,总结了不同蚀刻方式的优缺点,研究表明酸蚀刻法可以有效提高石英基片激光损伤阂值。
赵松楠
吕海兵
晏良宏
袁晓东
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激光损伤阈值
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