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国家高技术研究发展计划(2006A04Z314)
作品数:
1
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相关作者:
孙涛
王晓慧
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哈尔滨工业大学
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哈尔滨工业大...
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王晓慧
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孙涛
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制造技术与机...
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2011
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基于FTS的非轴对称微结构表面超精密切削系统研究
2011年
介绍了基于快速伺服刀架(FTS)的微结构表面超精密金刚石车削加工系统,并利用该系统成功实现了典型非轴对称结构正弦网格表面的加工。作为FTS的驱动元部件,压电陶瓷微位移驱动器的迟滞、蠕变非线性特性大大影响了系统的动态性能与加工精度。因此,建立了基于拓展输入空间法的FTS神经网络逆模型,并结合PID反馈控制,实现了FTS的闭环控制。实验结果表明,该控制策略可以有效提高FTS的动态性能,其跟踪误差小于150nm,为微结构表面的加工提供了可靠的保证。
王晓慧
孙涛
关键词:
闭环控制
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