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国家高技术研究发展计划(2002AA4212301)

作品数：1 被引量：29H指数：1
相关作者：沈宝宏金立刚杜宇丛明更多>>
相关机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电路
  • 1篇集成电路
  • 1篇IC制造

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇丛明
  • 1篇杜宇
  • 1篇金立刚
  • 1篇沈宝宏

传媒

  • 1篇机器人

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
面向IC制造的硅片机器人传输系统综述被引量：29
2007年
介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术,对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨.
丛明杜宇沈宝宏金立刚
关键词：集成电路
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