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国家自然科学基金(61274118F040703)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：潘元志詹昌华赵小林侯中宇更多>>
相关机构：中央研究院上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电导
  • 1篇电导率
  • 1篇气体
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇上海交通大学
  • 1篇中央研究院

作者

  • 1篇侯中宇
  • 1篇赵小林
  • 1篇詹昌华
  • 1篇潘元志

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种新型的电离式MEMS气体传感器被引量：1
2013年
实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验,测出了不同的伏安特性曲线和电导率值,从而证实了该器件的气体传感特性。
詹昌华潘元志赵小林侯中宇
关键词：微机电系统
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共1页<1>
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