国家自然科学基金(10204021)
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
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- PZT薄膜的制备及其与MEMS工艺的兼容性被引量：2
- 2006年
- 用溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了PZT薄膜,并采用剥离技术与热处理的方法解决了Pt电极的图形化,在结晶热处理前,利用PZT腐蚀液对PZT进行图形化腐蚀.分别用SEM,XRD,EDX对电极和PZT薄膜的相貌、相结构以及化学组分进行了分析.结果表明:所制备的PZT薄膜具有完全的钙钛矿型结构;这种图形化的工艺方法大大改善了电极和PZT的图形化条件,在不影响电极和PZT性能的同时,提高了电极和PZT的图形质量;底电极和PZT的图形化过程,避免了强酸长时间的腐蚀,大大提高了PZT薄膜的制备与MEMS工艺的兼容性.
- 李俊红汪承灏黄歆徐联
- 关键词：PZT薄膜溶胶-凝胶法兼容性图形化
- 圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制被引量：5
- 2006年
- 本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备,并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述。圆形振动膜的压电传声器与以前方形振动膜结构设计相比,较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率,灵敏度达到-70dB(相对于1V/Pa),成品率达到80%。
- 杨楚威李俊红黄歆汪承灏
- 关键词：压电薄膜ZNO
