北京市自然科学基金(4032010)
- 作品数：3 被引量：28H指数：2
- 相关作者：张福学毛旭张伟张楠王宏伟更多>>
- 相关机构：北京信息工程学院昆明物理研究所更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金北京市重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 恒温磁力搅拌下KOH刻蚀Si的研究被引量：2
- 2006年
- 采用恒温磁力搅拌的方法,在KOH溶液中湿法刻蚀Si。在掩模层为SiO2时,研究了刻蚀速率随KOH浓度与温度的变化关系。结果表明:在110℃、30%的KOH溶液下,刻蚀Si(100)可以得到4.0μm/min的刻蚀速率,Si(100):SiO2的刻蚀速率比为550:1,Si(100):Si(111)的刻蚀速率比为90:1,而且可以得到光滑的刻蚀表面与形状。
- 刘宇毛旭岳萍张福学
- 关键词：电子技术MEMS湿法刻蚀KOH
- 利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺被引量：18
- 2005年
- 提出了一种利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺的结构原理,建立了这种陀螺的数学模型并分析计算了该陀螺的结构动力学参数。理论研究和计算机模拟表明,利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺结构原理正确。
- 张福学王宏伟张伟毛旭张楠
- 关键词：微机械陀螺角速度
- 全方位气体摆式倾角传感器的结构原理被引量：8
- 2006年
- 介绍了全方位气体摆式倾角传感器的敏感原理,并对几种敏感元件的结构设计方案进行了详细的分析。在影响传感器主要性能的基础上,比较了不同敏感元件的优劣,找出最合适的敏感元件结构设计,最后通过对实际制作的全方位倾角传感器进行测试,表明所介绍的全方位气体摆式倾角传感器的灵敏度达到0.1°,方位角测量范围达到360°,倾斜角度测量范围可达到25°,达到了预期的设计目的。
- 林宇朴林华张福学
- 关键词：电子技术倾角传感器
