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上海市科委纳米专项基金(0452nm056)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：周之斌窦晓鸣姜维罗培青崔容强更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇氮化碳
  • 1篇氮化碳薄膜
  • 1篇电压
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束溅射
  • 1篇开路电压
  • 1篇拉曼
  • 1篇溅射
  • 1篇TEM
  • 1篇EDS

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇刘志刚
  • 1篇崔容强
  • 1篇罗培青
  • 1篇姜维
  • 1篇窦晓鸣
  • 1篇周之斌

传媒

  • 1篇电源技术

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氮离子束能量对光伏新材料氮化碳薄膜的影响
2006年
将碳基材料应用于太阳电池半导体器件的研究已经在国内外得到重视和开展。采用离子束溅射反应沉积技术,在p型绒面硅和p型硅基片上沉积出用于制备太阳电池的氮化碳薄膜(a-C:N)。ID/IG比率,ISi/IG比率是研究氮化碳薄膜微结构的重要拉曼参数,对这些参数随氮离子束能量的变化进行了研究。能量散射光谱(EDS)和透射电子显微镜(TEM)测试显示随氮离子束能量增大,薄膜中氮原子含量下降,团簇尺寸大幅下降,非晶网络中团簇分布也趋于均匀。用真空热蒸镀工艺在氮化碳/硅异质结的氮化碳薄膜表面镀上一层半透明的铝薄膜,测得AM1.5标准光照下的开路电压随氮离子束能量的增加而增大。
姜维周之斌崔容强罗培青刘志刚窦晓鸣
关键词：氮化碳离子束溅射拉曼TEMEDS开路电压
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