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国家重点基础研究发展计划(2011CB301904)

作品数:15 被引量:33H指数:3
相关作者:徐现刚胡小波陈秀芳杨昆杨祥龙更多>>
相关机构:山东大学山东天岳晶体材料有限公司山东华光光电子有限公司更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信理学机械工程更多>>

文献类型

  • 15篇中文期刊文章

领域

  • 8篇电子电信
  • 7篇理学
  • 1篇机械工程

主题

  • 4篇SIC
  • 3篇英文
  • 3篇碳化硅
  • 3篇激光
  • 3篇4H-SIC
  • 2篇单晶
  • 2篇晶体
  • 2篇机械抛光
  • 2篇激光器
  • 2篇光谱
  • 2篇GAN
  • 2篇粗糙度
  • 2篇EPITAX...
  • 1篇单纵模
  • 1篇单纵模激光器
  • 1篇电阻
  • 1篇选频
  • 1篇氧化液
  • 1篇制备SIC
  • 1篇欧姆接触

机构

  • 9篇山东大学
  • 2篇山东华光光电...
  • 2篇山东天岳晶体...
  • 1篇北京大学
  • 1篇山东浪潮华光...

作者

  • 9篇徐现刚
  • 7篇胡小波
  • 5篇陈秀芳
  • 2篇彭燕
  • 2篇杨祥龙
  • 2篇杨昆
  • 2篇徐明升
  • 1篇王翎
  • 1篇陶岳彬
  • 1篇蒋锴
  • 1篇张国义
  • 1篇于彤军
  • 1篇于果蕾
  • 1篇钟灿涛
  • 1篇郁万成
  • 1篇杨扬

传媒

  • 5篇人工晶体学报
  • 3篇Chines...
  • 2篇中国激光
  • 2篇光谱学与光谱...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇Acta M...

年份

  • 1篇2016
  • 5篇2015
  • 7篇2014
  • 1篇2012
  • 1篇2011
15 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
6H-SiC单晶的激光刻蚀及光谱分析(英文)被引量:3
2016年
激光微加工是半导体精密加工的一个有效方法。对于碳化硅(SiC)单晶,使用紫外波段激光可以获得对入射能量最大的吸收效率。使用355nm全固态激光器对6H-SiC单晶进行刻蚀。同时将样品置于不同的介质下以探究最优加工条件。使用拉曼光谱表征激光刻蚀后的SiC表面。刻蚀后表面主要由无定形硅及纳米晶石墨组成,对于空气下刻蚀的SiC晶片,无定形硅主要分布于刻蚀坑的周围,刻蚀坑内较少。而在液体下刻蚀的样品,无定形硅的空间分布相反。通过分析残留在表面的物质,在另一角度研究了激光刻蚀的反应机理。对于液体辅助的激光加工,以往的研究主要关注液层的厚度及粘度,对液体还原性的研究很少。为确定液体还原性的影响,使用共聚焦激光扫描显微镜及能量色散谱检测了不同液体辅助加工样品的表面形貌及氧含量。结果表明,液体还原性在激光刻蚀过程中有着较大的影响,使用有着还原性的液体作为介质可以有效减少表面氧化并获得更规则的表面形貌。
郁万成胡小波崔潆心陈秀芳徐现刚
关键词:碳化硅激光刻蚀拉曼光谱
MOCVD epitaxy of InAlN on different templates被引量:1
2011年
InAlN epilayers were grown on high quality GaN and A1N templates with the same growth parameters. Measurement results showed that two samples had the same In content of~16%,while the crystal quality and surface topography of the InAlN epilayer grown on the AlN template,with 282.3"(002) full width at half maximum (FWHM) of rocking curve,313.5"(102) FWHM,surface roughness of 0.39 nm and V-pit density of 2.8×10~8 cm^(-2),were better than that of the InAlN epilayer grown on the GaN template,309.3",339.1",0.593 nm and 4.2×10~8 cm^(-2).A primary conclusion was proposed that both the crystal quality and the surface topography of the InAlN epilayer grown on the AlN template were better than that of the InAlN epilayer grown on the GaN template. Therefore,the AlN template was a better choice than the GaN template for getting high quality InAlN epilayers.
贠利君魏同波闫建昌刘喆王军喜李晋闽
关键词:INALNEPILAYERTEMPLATE
AlGaN成核层对SiC衬底外延GaN薄膜应力及缺陷影响的研究被引量:3
2014年
研究了成核层生长条件对SiC衬底上GaN薄膜晶体质量和剩余应力的影响。采用AlGaN成核层并提高其生长温度,能明显降低SiC衬底上GaN外延层的缺陷密度和剩余应力。GaN薄膜的高分辨XRD摇摆曲线(0002)和(10-12)面的半峰宽达到161 arcsec和244 arcsec,拉曼频移达到567.7 cm-1。成核层的原子力显微镜结果显示GaN薄膜的晶体质量随着成核岛密度的降低而提高。
徐明升胡小波徐现刚
关键词:SIC衬底GAN薄膜晶体质量
Progress in research of GaN-based LEDs fabricated on SiC substrate被引量:1
2015年
The influence of buffer layer growth conditions on the crystal quality and residual stress of GaN film grown on silicon carbide substrate is investigated. It is found that the A1GaN nucleation layer with high growth temperature can efficiently decrease the dislocation density and stress of the GaN film compared with A1N buffer layer. To increase the light extraction efficiency of GaN-based LEDs on SiC substrate, flip-chip structure and thin film flip-chip structure were designed and optimized. The fabricated blue LED had a maximum wall-plug efficiency of 72% at 80 mA. At 350 mA, the output power, the Vf, the dominant wavelength, and the wall-plug efficiency of the blue LED were 644 roW, 2.95 V, 460 nm, and 63%, respectively.
徐化勇陈秀芳彭燕徐明升沈燕胡小波徐现刚
关键词:SICGAN
76%光电转换效率梯度渐变折射率结构940nm半导体激光器(英文)被引量:6
2014年
为改善宽面940nm半导体激光二极管(LD)的输出功率及光电转换效率(WPE),设计并制作了一种包含梯度渐变折射率(GRIN)结构的新型量子阱激光器。通过二维自洽软件模拟计算了新结构激光器与传统分别限制结构(SCH)激光器的能带结构,结果表明新的激光器结构能够显著消除各异质结间的过渡势垒。通过低压金属有机物化学气相沉积(LP-MOCVD)的方法生长了高质量激光器外延材料。制成后的100μm条宽、2000μm腔长的激光器器件在室温25℃下经过连续(CW)电流测试发现,梯度渐变折射率结构激光器较分别限制结构激光器在10A电流下电压约低0.07V。通过结构与生长优化,激光器内吸收系数从0.52cm-1降至0.43cm-1,最大光电转换效率由69%提升至76%。最终制成的940nm半导体激光器器件室温25℃下输出功率10.0W(10A电流时),斜率效率高达1.24W/A。
蒋锴李沛旭沈燕张新汤庆敏任忠祥胡小波徐现刚
关键词:激光器激光二极管高功率
GaN substrate and GaN homo-epitaxy for LEDs:Progress and challenges被引量:1
2015年
After a brief review on the progresses in GaN substrates by ammonothermal method and Na-flux method and hydride vapor phase epitaxy (HVPE) technology, our research results of growing GaN thick layer by a gas fow-rnodulated HVPE, removing the GaN layer through an efficient self-separation process from sapphire substrate, and modifying the uniformity of multiple wafer growth are presented. The effects of surface morphology and defect behaviors on the GaN homo-epitaxial growth on free standing substrate are also discussed, and followed by the advances of LEDs on GaN substrates and prospects of their applications in solid state lighting.
吴洁君王昆于彤军张国义
SiC高折射率材料作为选频晶体单纵模激光器的研究(英文)
2015年
采用高折射率的SiC晶体材料,作为布氏片的选频器件,实现了单纵模绿光激光器的稳定工作,输出功率达120 mW。通过理论分析和实验证明,相较于现有的采用K9玻璃,采用高折射率的SiC晶体作为选频器件。
于果蕾杨扬徐现刚
关键词:激光光学SIC单纵模
Direct growth of graphene on gallium nitride by using chemical vapor deposition without extra catalyst被引量:1
2014年
Graphene on gallium nitride (GaN) will be quite useful when the graphene is used as transparent electrodes to improve the performance of gallium nitride devices. In this work, we report the direct synthesis of graphene on GaN without an extra catalyst by chemical vapor deposition. Raman spectra indicate that the graphene films are uniform and about 5-6 layers in thickness. Meanwhile, the effects of growth temperatures on the growth of graphene films are systematically studied, of which 950 ℃ is found to be the optimum growth temperature. The sheet resistance of the grown graphene is 41.1 Ω/square, which is close to the lowest sheet resistance of transferred graphene reported. The mechanism of graphene growth on GaN is proposed and discussed in detail. XRD spectra and photoluminescence spectra indicate that the quality of GaN epi-layers will not be affected after the growth of graphene.
赵云王钢杨怀超安铁雷陈闽江余芳陶立羊建坤魏同波段瑞飞孙连峰
关键词:GRAPHENEPHOTOLUMINESCENCE
n型SiC极性面对欧姆接触性质的影响
2014年
研究了n型碳化硅(SiC)极性表面、载流子浓度和退火温度对欧姆接触的影响,测试了不同样品的电流-电压曲线,并通过传输线方法计算比接触电阻。对于SiC衬底的硅面,GeNiTiAu合金材料的欧姆接触特性最好;而对于碳面,TiAu合金材料的接触电阻最小。衬底载流子浓度由1.5×101 7cm-3逐步提高到2.0×1018cm-3,金属与n型SiC衬底硅面的接触由肖特基接触变为欧姆接触,欧姆接触电阻随着载流子浓度的提高而明显降低。GeTiAu合金与SiC衬底硅面的接触电阻随着退火温度的提高非单调降低,900℃为最优退火温度。原子力显微镜结果显示,退火后样品表面粗糙度明显提高。
王翎徐明升徐现刚
关键词:欧姆接触比接触电阻
图形化蓝宝石衬底上InGaN/GaN多量子阱发光二极管的光谱特性研究被引量:2
2012年
运用电致发光(EL)和光致发光(PL)实验,分析了图形化蓝宝石衬底(PSSLEDs)和常规平面蓝宝石衬底(C-LEDs)InGaN/GaN多量子阱发光二极管的光谱特性。对比EL谱,发现PSSLEDs拥有更强的光功率和更窄的半峰宽(FWHM),说明PSSLEDs具有较高的晶体质量。其次,PSSLEDs的EL谱半峰宽随电流增加出现了更快的展宽,而这两种LED样品的PL谱半峰宽随激光功率增加呈现了基本相同的展宽变化,说明在相同电流下,PSSLEDs量子阱中载流子浓度更高,能带填充效应更强。另外,随着电流的增加,PSSLEDs和C-LEDs的峰值波长都发生蓝移,且前者的蓝移程度较小,结合半峰宽的对比分析,说明PSSLEDs量子阱中的极化电场较小。最后,对比了PSSLEDs和C-LEDs的外量子效率随电流的变化,发现PSSLEDs拥有更严重的efficiency droop,说明量子阱中极化电场不是导致efficiency droop的主要原因。
颜建钟灿涛于彤军徐承龙陶岳彬张国义
关键词:峰值波长EFFICIENCY
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