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云南省教育厅科研基金(04Y659A)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：杨瑞东王全彪杨宇更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇SI薄膜

机构

  • 1篇云南大学

作者

  • 1篇杨宇
  • 1篇王全彪
  • 1篇杨瑞东

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
外延生长亚单层Si薄膜的动力学蒙特卡罗模拟被引量：3
2007年
建立了沿Si(100)方向外延生长亚单层Si薄膜的动力学蒙特卡罗模拟模型,对二维Si薄膜的生长过程及二维Si岛的形貌演变进行了研究。结果表明,在一定的入射率下存在一最佳成岛温度,该温度随入射率的增大而升高。以最佳成岛温度生长时,岛密度随覆盖度的增加呈现增加—饱和—减小的变化规律。在低温和高入射率下,岛密度随覆盖度单调增加,薄膜呈离散生长。而温度很高和入射率很低时,岛密度始终以很小的数值在小范围内振荡,薄膜呈紧致生长。
王全彪杨瑞东杨宇
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