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江苏省高等学校自然科学基金(BK2010385)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：刘斌陶涛张曌郑有炓陈鹏更多>>
相关机构：中国科学院南京大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金江苏省高等学校自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇紫外波段
  • 1篇SI
  • 1篇SIO
  • 1篇波段

机构

  • 1篇南京大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇谢自力
  • 1篇李志成
  • 1篇姬小利
  • 1篇张荣
  • 1篇江若琏
  • 1篇陈鹏
  • 1篇郑有炓
  • 1篇张曌
  • 1篇陶涛
  • 1篇刘斌

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
紫外波段SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜的制备与研究被引量：3
2012年
采用光学传递矩阵方法设计了紫外波段SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜,并利用等离子体增强化学气相沉积技术在蓝宝石(0001)衬底上制备了SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜.光反射测试表明,样品反射谱的峰值波长仅与理论模拟谱线相差10 nm,并随着反射镜周期数的增加而蓝移.由于SiO_2与Si_3N_4具有相对较大的折射率比,因而制备的周期数为13的样品反射谱的峰值反射率就已大于99%.样品反射谱的中心波长为333 nm,谱峰的半高宽为58 nm.样品截面的扫描电子显微镜和表面的原子力显微镜测量结果表明,样品反射谱的中心波长蓝移是由子层的层厚和界面粗糙度的变化引起的.X射线反射谱表明,子层界面过渡层对于反射率的影响较小,并且SiO_2膜的质量比Si_3N_4差,也是造成反射率低于理论值的原因之一.
李志成刘斌张荣张曌陶涛谢自力陈鹏江若琏郑有炓姬小利
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