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国家自然科学基金(60876085)
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
相关作者:
周嘉
赵平安
刘冉
王锡明
黄宜平
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相关机构:
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2010
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具有激振和测振的新型压电微悬臂梁设计
2010年
设计了几种新型压电微悬臂梁结构,目的是实现微悬臂梁同时具有激振和测振功能.设计的微悬臂梁尺寸(长×宽×厚)为860μm×300μm×2.11μm;设计了4种可以同时实现激振和测振功能的上电极形状;分析了上电极与信号传递函数值的关系,并对微悬臂梁进行了静态响应、模态分析和谐响应分析.可以看到采用Ⅱ型上电极设计的微悬臂梁既可以实现激振和测振功能,同时具有最佳的静态灵敏度和较高的品质因子,为优化的设计结构.
王锡明
周嘉
黄宜平
关键词:
谐振传感器
锆钛酸铅
一种单平面电极阵列结构的介质上电润湿数字微流控器件
被引量:1
2010年
一种高介电常数(K=7.6~11.6)的有机铁电聚合物材料——偏氟乙烯与三氟乙烯共聚物首次作为介质层用于介质上电润湿效应的数字微流控器件.在30 V的外加电压下,液滴与器件间的固-液接触角可以从118°下降到75°,并且呈现明显的电压极性相关性.基于此现象,设计并制作了新型的单平面电极阵列结构的数字微流控器件,简化了器件结构和工艺流程,整个工艺步骤可以与集成电路工艺兼容.新型器件成功实现了3μL的液滴的往返运输,工作电压只需20 V.
赵平安
周嘉
刘冉
关键词:
介质上电润湿
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