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上海-AM基金(AM0301)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：刘蕾赖宗声蔡描陈瑾瑾郭兴龙更多>>
相关机构：华东师范大学更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇亚胺
  • 1篇射频微机械开...
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇微机械开关
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇开关
  • 1篇刻蚀
  • 1篇机械开关
  • 1篇RF_MEM...

机构

  • 1篇华东师范大学

作者

  • 1篇郭兴龙
  • 1篇陈瑾瑾
  • 1篇蔡描
  • 1篇赖宗声
  • 1篇刘蕾

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
RF MEMS开关在牺牲层工艺上的改进被引量：2
2006年
通过对传统的RF MEMS开关采取在信号线上电镀桥墩、改进桥梁的形状以及在桥背面设计接触点的新颖方法，使得RF MEMS开关的下拉电压减小、开关时间缩短和可靠性提高。在工艺上，特别采用了对聚酰亚胺牺牲层进行全刻蚀和半刻蚀的改进加工流程来实现桥背面的接触点。测试结果表明：开关的下拉电压为28V，最低开关时间为0．8μs，开关寿命达7×10^5次，0～10GHz的插入损耗在0～0．5dB，隔离度为35～45dB。
蔡描郭兴龙刘蕾陈瑾瑾赖宗声
关键词：射频微机械开关聚酰亚胺
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