2024年7月22日
星期一
|
欢迎来到维普•公共文化服务平台
登录
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
湖南省科技厅项目(2009CK4013)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
刘艺超
陈文光
饶益花
更多>>
相关机构:
衡阳市真空机电设备有限公司
南华大学
更多>>
发文基金:
湖南省科技厅项目
更多>>
相关领域:
电子电信
更多>>
相关作品
相关人物
相关机构
相关资助
相关领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
1篇
中文期刊文章
领域
1篇
电子电信
主题
1篇
电源
1篇
电源设计
1篇
基于FPGA
1篇
溅射
1篇
FPGA
1篇
磁控
1篇
磁控溅射
机构
1篇
南华大学
1篇
衡阳市真空机...
作者
1篇
饶益花
1篇
陈文光
1篇
刘艺超
传媒
1篇
真空
年份
1篇
2011
共
1
条 记 录,以下是 1-1
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
基于FPGA的数字化中频磁控溅射电源设计
被引量:2
2011年
介绍了一种全数字控制的中频磁控溅射电源设计。主电路前级采用直流斩波调压,后级采用全桥逆变的电路结构。控制电路由现场可编程门阵列(FPGA)计算产生高分辨率的数字脉宽调制信号(DPWM)实现。电源工作于恒流模式,通过PID算法调节Buck斩波电路的驱动DPWM来实现闭环控制。全桥逆变电路的驱动信号由FPGA计算产生,通过按键可设置驱动的DPWM,输出所需的固定频率和占空比的矩形波。对于靶面微打弧和强打弧,FPGA采取不同的保护措施。最后制作了5kW的样机进行验证,实验证明,方法可行,具有好的应用前景。
刘艺超
陈文光
饶益花
李云程
关键词:
FPGA
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张