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国家自然科学基金(30770524)
作品数:
2
被引量:17
H指数:2
相关作者:
董景星
周军
魏运荣
张海波
楼祺洪
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相关机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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作者
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楼祺洪
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陈芸
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张海波
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魏运荣
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魏勋斌
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周军
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董景星
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2篇
激光与光电子...
年份
2篇
2009
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2
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ArF准分子激光器线宽压缩技术
被引量:15
2009年
ArF准分子激光器是实现45nm技术节点光刻的主流光源。综述了准分子激光器的研究现状,介绍了主振荡功率放大(MOPA)与种子注入锁定系统(ILS)双腔结构以及主要波长分离元件,着重介绍了深紫外波长区193nm的光谱线宽压缩技术。
张海波
楼祺洪
周军
董景星
魏运荣
关键词:
激光器
准分子激光器
主振荡功率放大
光学活体成像技术进展
被引量:2
2009年
光学活体成像技术是近年来生物医学检测中发展最快的前沿科学之一,能够在微创或无创的条件下对活体组织或动物体内的生理生物活动进行成像跟踪,其中某些技术可以达到动态实时监测。总结了目前常用和最新的光学活体成像技术,并对其在生物医学领域的应用做了介绍与展望。
魏勋斌
郭进
李延
王成
张黎
李凯
樊志超
陈芸
关键词:
活体
光学成像
实时监测
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