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国家重点基础研究发展计划(2013CB933602)

作品数：7 被引量：18H指数：3
相关作者：冯进军李含雁丁明清蔡军胡银富更多>>
相关机构：北京真空电子技术研究所中国电子科技集团公司第十二研究所电子科技大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信航空宇航科学技术化学工程更多>>

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 7篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 3篇行波管
  • 3篇金刚石
  • 3篇刚石
  • 2篇真空器件
  • 2篇太赫兹
  • 2篇赫兹
  • 2篇返波管
  • 1篇低损耗
  • 1篇电磁
  • 1篇电磁特性
  • 1篇氧化铝
  • 1篇色散
  • 1篇色散特性
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微机电系统技...
  • 1篇牺牲层
  • 1篇螺旋线
  • 1篇螺旋线行波管
  • 1篇密封
  • 1篇密封性

机构

  • 7篇北京真空电子...
  • 1篇电子科技大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 8篇冯进军
  • 4篇丁明清
  • 3篇李含雁
  • 3篇胡银富
  • 3篇杜英华
  • 3篇蔡军
  • 3篇李莉莉
  • 2篇廖复疆
  • 2篇白国栋
  • 2篇李兴辉
  • 2篇胡健楠
  • 1篇曾旭
  • 1篇邬显平
  • 1篇唐烨
  • 1篇闫铁昌
  • 1篇王峨锋
  • 1篇孙昊
  • 1篇潘攀
  • 1篇李安
  • 1篇冯源

传媒

  • 2篇强激光与粒子...
  • 2篇真空科学与技...
  • 1篇微波学报
  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇太赫兹科学与...
  • 1篇2016真空...

年份

  • 1篇2016
  • 6篇2015
  • 1篇2013
共 7 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
周期结构电磁特性在高频真空器件中的应用被引量：3
2015年
作为行波类真空电子器件的核心组件,慢波结构是一种周期结构,其场可以有无限多个模式,每个模式由无穷多个空间谐波构成.每个空间谐波有相应的色散曲线且曲线各段有不同的特性.提出了周期结构色散特性的全维度开发的概念,并以一种可用微电机系统(MEMS)技术加工的折叠波导(FWG)慢波结构为例,对其色散特性进行了分析,利用这些色散特性开展了行波管(TWT)、返波管(BWO)等传统器件的研究工作,同时提出了过模器件、带边振荡器(BO)和谐波放大器(THAT)等新型器件,这些器件的实验研究则以W波段及其以上频率为主,最后给出了突破的关键技术以及测试得到的器件的主要性能.
冯进军蔡军胡银富邬显平
关键词：色散特性真空器件
低增益kW级mm波螺旋线行波管高频结构设计
2015年
根据固态器件的发展和返波振荡抑制的特点，针对kW级mm波螺旋线行波管设计了低增益高频结构，通过切断、螺距渐变和添加衰减器的方式对返波振荡进行了抑制。通过微波仿真软件对其色散特性、耦合阻抗特性进行了模拟计算；通过三维大信号注波互作用计算软件进行了注波互作用计算与优化，并使用粒子模拟（PIC）软件进行了计算。结果显示，在频带29～31GHz范围内，输出功率达到1002W，增益大于21dB，电子效率大于16．8％，返波振荡得到抑制。
冯源冯进军
关键词：螺旋线行波管返波振荡
近太赫兹频段线性注真空器件的研究被引量：6
2015年
介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等。这些器件包括行波管、返波管、斜注管、止带振荡器及行波管谐波放大器等,高频结构以折叠波导慢波结构为主,在太赫兹返波管中则利用叶片加载波导慢波结构。器件技术包括微机电系统(MEMS)技术,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石生长、金属化和封接技术等。最后给出W波段、G波段以及340 GHz部件和器件所达到的性能。
冯进军蔡军胡银富李含雁杜英华唐烨李莉莉潘攀
关键词：太赫兹行波管返波管微机电系统技术金刚石
太赫兹器件用新型复合多层金刚石材料的研究被引量：1
2015年
微波器件频率进入太赫兹,输能窗的厚度减小至一百甚至几十微米。常规的介质材料,或者多晶金刚石材料已经难以满足强度和真空密封性能的要求。为此设计并研制出一种新型微/超纳米复合多层金刚石膜。该膜采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),通过反应气源和沉积参数的改变,实现在硅衬底上依次原位生长微米尺度和超纳米尺度的金刚石膜。研制的复合多层金刚石膜表面粗糙度Ra<0.5μm,生长面的断裂强度高达1550MPa,是普通多晶金刚石膜的三倍。用该膜封接的输能窗目前已经通过真空密封性测试,将首次应用于太赫兹真空器件。
李莉莉丁明清杜英华冯进军胡健楠
关键词：太赫兹密封性
超薄复合金刚石膜的研制
太赫兹行波管用微米金刚石输能窗片的厚度接近100μm甚至几十μm,带来了机械强度与气密性问题。我们设计并研制了一种100μm厚的超纳米和微米复合金刚石膜。测试结果表明,断裂强度和气密性明显优于微米金刚石膜。利用复合膜制成...
丁明清李莉莉胡健楠杜英华蔡军胡银富冯进军
关键词：传输损耗
文献传递
W波段回旋管宽带低损耗输入耦合系统被引量：2
2015年
给出了一种十字交叉型TE□10-TE○01宽带模式转换器的设计原理,同时完成了一套W波段低损耗输入耦合系统的设计方案。根据该设计方案在电磁模拟软件HFSS中建立三维模型进行优化仿真。得到了衰减为0.14dB、最大驻波比为1.388、带宽为10GHz的高性能TE□10-TE○01宽带模式转换器。同时计算得到整套传输系统的衰减小于1dB,远小于采用矩形波导TE10模式的衰减(约15dB),大大提高了传输效率,降低了能量损耗。实际加工得到了一对模式转换器,经测试可得其衰减为1dB左右,整套系统的衰减约为3dB,与矩形波导(衰减约为15dB)相比,有了很大的提高。
孙昊李浩王峨锋曾旭李安冯进军闫铁昌
关键词：回旋行波管模式转换器
Spindt阴极金属颗粒粘附失效分析被引量：3
2015年
Spindt型场发射阴极,在初期老炼过程中容易失效,其表现为发射尖锥和栅极间短路、漏电,或是真空电弧损伤。引起Spindt阴极失效的一个主要原因,分析认为是存在于发射尖锥表面、栅极边缘以及承载尖锥的二氧化硅空腔中的金属颗粒附着。这些金属颗粒,产生于双向沉积制作发射尖锥过程中,它们在牺牲层剥离时脱落,并且没有在随后的纯水清洗过程中得到有效去除。这些金属颗粒的存在,即便没有导致初期阴极失效,也可能成为阴极大电流应用,如微波真空功率器件应用的潜在障碍。研究中提出了在常规清洗工艺中引入超声波清洗和兆声波清洗,初步试验研究表明,振动频率28 k Hz的超声波清洗,容易造成阴极损伤,并且对微小颗粒的去除效果不好,而频率1 MHz的兆声波清洗,则可近似无损地将阴极失效率大幅降低。
李兴辉白国栋李含雁丁明清冯进军廖复疆
关键词：牺牲层超声波清洗
Spindt阴极制作中剥离层的研究被引量：3
2013年
在Spindt场发射阴极制作工艺流程中,剥离层对于形成良好的发射尖锥形状至关重要,同时它也是实现阴极阵列中尖锥均匀性的关键因素。本文研究了几种常用的剥离层材料包括金属铜,Al2O3以及水溶性的NaCl和Na2CO3。实验表明NaCl和Na2CO3用作剥离层,可以被去离子水迅速、容易地去除,并同时实现很好的腐蚀选择性。但用这些水溶性材料得到的发射尖锥形状不很规则且表面粗糙,由此也会带来整个阴极阵列上尖锥的不均匀性。使用Al2O3作为剥离层则较为理想,可以得到光滑的栅极收口和很好的尖锥阵列。但传统用来腐蚀Al2O3的热H3PO4,对于加热制作的Al2O3剥离层腐蚀较为困难。尝试了使用基于NaOH的腐蚀液来剥离加热Al2O3层,通过严格的工艺参数控制,如腐蚀液浓度和刻蚀时间,可以制作出质量较好尖锥发射体阵列。
李兴辉白国栋李含雁丁明清冯进军廖复疆
关键词：氧化铝
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