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上海市科委纳米专项基金(0359nm005)

作品数：1 被引量：10H指数：1
相关作者：沈耀李刘合陈秋龙蔡珣徐晔更多>>
相关机构：上海交通大学北京航空航天大学更多>>
发文基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇微观结构
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米复合膜
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数
  • 1篇复合膜
  • 1篇TI-SI-...

机构

  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇徐晔
  • 1篇蔡珣
  • 1篇陈秋龙
  • 1篇李刘合
  • 1篇沈耀

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展被引量：10
2006年
随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响。
徐晔蔡珣陈秋龙沈耀李刘合
关键词：纳米复合膜微观结构工艺参数
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共1页<1>
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