国家重点基础研究发展计划(2009CB724205)
- 作品数：36 被引量：127H指数：7
- 相关作者：朱煜陈学东杨开明罗欣张鸣更多>>
- 相关机构：华中科技大学清华大学江西江铃底盘股份有限公司更多>>
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- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- 六自由度磁浮微动台电磁场建模与计算被引量：4
- 2010年
- 为了提高光刻机工件台中微动台的运动精度和加速度,设计了一种将支承和驱动在同一电磁单元中实现的新型Lorentz电机驱动、磁悬浮支承、并联、6自由度微动台结构,应用解析方法建立了微动台磁场模型和特定结构约束下的磁场分布。对微动台电磁力-位移特性进行了分析。采用数值方法计算了微动台电磁单元绕组损耗引起的温升。结果表明:该微动台具有驱动力大、结构简单、散热方便等优点,可为我国自主产权光刻机微动台设计提供参考。
- 李广张鸣朱煜段广洪Masayoshi Tomizuka
- 关键词：微动台电磁场计算光刻机
- 阻尼孔振荡流态下的动态特性分析被引量：6
- 2011年
- 研究阻尼孔元件的动态流量特性时,由于阻尼孔动态数学模型中涉及非直接测量物理量参数的估计,利用纯数学模型难以准确描述其特性。以阻尼孔理论研究为基础,建立细长型阻尼元件的三维分析模型,通过在阻尼孔两端加载遵循正弦规律变化的动态压力载荷,采用有限元的分析方法对阻尼孔在低频微幅振荡状态下的流量特性进行分析。分析结果表明,当阻尼孔内流体处于低频微幅振荡流动状态时,其孔内瞬态流量与元件两端差压同频不同相,其瞬态流量振动幅值与元件两端差压呈比例关系,比例系数与振荡频率相关,但瞬态流量振动的相位滞后角则完全由振荡频率决定。
- 纪春华朱煜徐登峰
- 关键词：阻尼孔有限元振荡
- 周期分布压力腔的小孔节流圆形静压气体轴承静动态特性研究被引量：6
- 2012年
- 利用摄动法研究了沿周向周期分布压力腔的小孔节流圆形静压气体轴承的静动态特性。通过有限差分法求解稳态雷诺方程和扰动雷诺方程,计算了轴承静承载力和静刚度及动刚度和阻尼系数,分析了扰动频率对轴承动态性能的影响,并对轴承的稳定性进行了分析。研究结果表明:扰动频率对轴承动态性能有较大影响;轴承的稳定性与气膜间隙、供气压有关,供气压越大,轴承稳定性越差,随着气膜间隙增大,稳定性先减弱后增强。
- 向洋陈瀚陈学东
- 关键词：气体轴承摄动法
- 基于STM32的大扭矩永磁同步电机控制系统设计
- 2012年
- 针对一种应用于港口机械的大扭矩永磁同步电机直接驱动系统,本文分析了其矢量控制原理,以STM32微处理器为核心进行了控制系统软硬件设计,重点介绍了STM32处理器模块、增益可调的电流检测电路、旋转变压器接口电路、IPM驱动保护电路等的设计与实现,最后通过实验验证了控制系统的有效性。
- 王俊李小清曾理湛王玉凯
- 关键词：同步电机矢量控制STM32增益可调
- 模糊PID控制在纳米微动台系统中的应用被引量：8
- 2011年
- 针对在纳米级运动控制中,传统PID算法的参数配置在抑制系统运动超调、提高系统定位精度,以及保障系统稳定性等方面存在矛盾的问题,提出了将模糊自适应PID控制器应用于该系统的方案。并基于大量工程整定实验,给出了针对纳米量级控制特点的模糊集设置和模糊整定规则,选取了合理的PID参数论域取值。实验结果表明,所设计的模糊控制器通过动态调整PID参数的增量,有效改善了微动台系统的动态性能,降低了动态响应的超调,且保证了在一定扰动下系统小于±10 nm的定位精度和鲁棒稳定性。验证了模糊自适应PID控制方法应用于纳米量级运动控制领域的有效性,以及基于实验的模糊规则设计、论域选取方法的可行性。
- 刘经宇尹文生朱煜
- 关键词：模糊自适应PID控制纳米级微动台
- 双边驱动精密XY运动平台解耦控制研究被引量：5
- 2010年
- 针对具有非对称结构的直线电机驱动精密XY运动平台,为提高Y向双边同步运动控制性能,采用解耦补偿器和输出变换矩阵的方法获得了精密XY运动平台Y向解耦控制,并采用相对增益矩阵(RGA)定量分析了解耦性能。同时考虑到X轴位置变化,将解耦补偿器和输出变换矩阵设计成与X轴滑块位置参数相关的,从而实现参数变化解耦控制。运动平台控制仿真结果表明,该控制策略实现了两变量平动和转动的解耦控制,可以较好地完成双边同步控制。
- 赵冶朱煜杨开明潘尚峰
- 关键词：解耦控制
- 新型永磁隔振器的隔振性能分析与实验研究被引量：10
- 2013年
- 在超精密加工、IC制造、光学、高端的物理及化学试验中,隔振器已经成了许多设备的一个关键部件,隔离来自地面和设备内部的振动。随着稀土永磁材料的迅速发展,永磁隔振器已成为国内外研究的热点之一。本文将采用环形永磁体提出了一种新构型的永磁隔振器;根据环形永磁体的磁力和刚度的解析模型对隔振器的隔振性能进行参数化分析,确定了该隔振器磁环的结构参数。作为新型永磁隔振器的试验研究,搭建了永磁隔振试验台,通过理论计算和试验证实了该磁浮隔振器在其最大承载能力时具有良好的低频隔振性能。
- 李强徐登峰徐登峰刘昊
- 关键词：隔振器固有频率
- 结构参数对压电声透系统性能的影响
- 压电声透系统是由金属壁面及分别安装在其两侧的2个压电换能器组成,其中外部压电换能器在外电场的激励下产生超声波,超声波穿过壁面;内部压电换能器接收到超声波并将其转换成电能,从而实现由外电源给密闭容器内的电子器件无线供能。本...
- 程昆煜胡林胡洪平胡元太
- 关键词：超声波有限元ANSYS
- 文献传递
- 双层气浮平台中气浮支承动力学参数设计的研究被引量：2
- 2010年
- 针对双层气浮运动平台中气浮支承动力学参数设计问题,分析了气浮支承动力学参数的一般规律,提出了减小双层气浮平台同步误差的设计原则,并通过两种不同双层气浮平台动力学性能设计方案验证了所提出的设计原则。研究结果表明:选择和设计气足时需综合考虑多方面因素,包括气足承载力、刚度和阻尼参数的合理设计,设计时为了避免产生共振应遵循气足固有频率远离工作频率和平台结构频率的设计原则;当气浮平台对同步特性有需求时,双层气浮平台的气足固有频率应该相等,使双层平台具有相同的动力学性能,对干扰和驱动指令具有相同的响应特性,从而保证两者的同步精度。
- 叶燚玺陈学东罗欣
- 关键词：动力学
- 弹性隔套设计与仿真分析被引量：5
- 2010年
- 针对汽车驱动桥主齿轮中弹性隔套的设计问题,首先采用力学理论和弹塑性理论对其进行理论分析,然后采用有限元分析方法,在考虑加工成形和不考虑加工成形两种情况下,分别建立弹性隔套的有限元模型,利用有限元分析软件ABAQUS 6.8进行弹性隔套的弹塑性分析,并与试验进行对比分析。分析结论表明在考虑加工成形的工作条件下弹性隔套压力与应变的关系曲线与设计要求的关系曲线是一致的,进一步验证了设计与分析方法的有效性和正确性。
- 余显忠黄平辉揭钢陈学东万雄飞
- 关键词：有限元方法弹塑性分析
