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上海市科学技术委员会基础研究重点项目(12510502300)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：方丹朱亦鸣彭滟陈向前蔡斌更多>>
相关机构：上海理工大学更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会基础研究重点项目上海市教育委员会重点学科基金上海市教育发展基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇退火
  • 1篇退火特性
  • 1篇微构造
  • 1篇激光
  • 1篇激光制备
  • 1篇红外
  • 1篇红外传感
  • 1篇红外传感器
  • 1篇飞秒
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇上海理工大学

作者

  • 1篇周云燕
  • 1篇蔡斌
  • 1篇陈向前
  • 1篇彭滟
  • 1篇朱亦鸣
  • 1篇方丹

传媒

  • 1篇红外与激光工...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
真空环境下飞秒激光制备的微构造硅的吸收和退火特性被引量：1
2014年
在真空环境下利用飞秒激光制备的“黑硅”材料，其形貌与SF6气氛中制备的“黑硅”材料有着很大的区别。为了研究这种真空环境下制备的微构造硅的相关光学特性，通过改变入射脉冲能量研究其峰值变化以及吸收特性，发现当峰值达到一定高度时其对200~2500 nm波段的光波有95%左右的吸收效率，这与SF6气氛中制备的微构造硅的吸收效率不相上下。最后对两种环境下制备的“黑硅”样品进行退火处理，发现真空环境下制备的“黑硅”材料比SF6气氛中制备的“黑硅”样品具有更好的耐退火性。这些结果对于利用真空环境下制备的微构造硅制作红外传感器具有重要意义。
陈向前彭滟方丹周云燕刘姝祺蔡斌朱亦鸣
关键词：微构造退火红外传感器
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