中国工程物理研究院发展基金(20100203027)
- 作品数：3 被引量：6H指数：1
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- 相关机构：表面物理与化学重点实验室中国工程物理研究院更多>>
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- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 纳秒脉冲激光熔覆温度场计算及薄膜飞溅机制分析被引量：4
- 2012年
- 实验上采用磁控溅射在铀、不锈钢、铝基底上分别沉积钼、铌、铝等薄膜后采用纳秒激光熔覆,薄膜发生飞溅,未能形成熔覆层。针对这一问题,采用有限元方法分析了脉冲激光作用的温度场,并对瞬时热膨胀造成薄膜垂直于表面的运动进行了分析。计算以及分析结果表明:由于界面热阻,纳秒激光熔覆薄膜与基底存在较大的温度差,在本例计算铝薄膜与基底温差超过450℃。瞬时热膨胀导致薄膜具有向外的速度以及动能。当薄膜动能大于拉伸断裂所需要克服的弹性以及塑性变形能量,薄膜将发生飞溅。理论分析还表明存在一个临界的光束尺寸,当光束小于该尺寸,薄膜不会发生飞溅,熔覆能够发生,对于准分子激光,光束尺寸达微米量级薄膜不会飞溅。
- 张永彬宾韧郎定木
- 关键词：温度场熔覆
- 铀上激光辅助化学气相沉积镍薄膜研究被引量：1
- 2017年
- 为防止金属铀的腐蚀,本文采用激光辅助化学气相沉积(LACVD)方法在铀上制备了镍薄膜。采用SEM、XRD分析了薄膜的形貌、物相以及界面特性,采用黏胶拉伸测试表征了膜-基结合性能,采用电化学极化法分析了薄膜的抗腐蚀性能。结果表明:压力和温度对化学气相沉积(CVD)方法制备镍薄膜的质量有较大的影响。随着基底温度和沉积气压的降低,薄膜变得致密、平整,质量提高。在优化的工艺条件165℃、3Pa下,CVD方法所得镍薄膜非常致密。采用LACVD方法时,激光能量为200mJ时所制得的薄膜致密,300mJ时膜变得粗糙。无激光辅助时,CVD方法所制得的薄膜较易剥落,激光辅助下所得薄膜的膜-基结合力较好。LACVD方法大幅提高了薄膜的抗腐蚀性能,抗腐蚀性能的提高主要源于激光辅助使薄膜致密化,提高了薄膜与基底的结合力。
- 张永彬陈志磊宾韧郎定木蒲朕刘柯钊
- 关键词：激光化学气相沉积防腐蚀
- 铀上激光辅助化学气相沉积铝薄膜研究被引量：1
- 2013年
- 为了防止金属铀的腐蚀,本文采用激光辅助化学气相沉积在铀上制备了铝薄膜。采用扫描电镜、X射线衍射、俄歇电子探针分析了薄膜的形貌、物相以及界面特性,并采用电化学极化曲线对薄膜的抗腐蚀性能分析。结果表明,无激光辐照CVD沉积铝薄膜呈微球状,激光辐照后形成了铝薄膜。激光能量低于100 mJ所形成的铝薄膜致密、平整、光滑。较高能量下,薄膜出现火山坑形貌,粗糙度增加。界面处存在UAl2以及UAl3相,且界面处铝以及铀元素成分呈梯度变化。电化学实验表明:铀上激光CVD铝具有优异的抗腐蚀性能,抗腐蚀性能的提高源于薄膜的致密性提高以及界面处形成了铀铝化合物。
- 张永彬宾韧郎定木蒲朕
- 关键词：激光化学气相沉积防腐蚀
