四川省应用基础研究计划项目(JY0003)
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 相关作者：赵启义芮大为李国栋陈文彬闫思家更多>>
- 相关机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：四川省应用基础研究计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 有机气相沉积中薄膜生长的模拟研究被引量：4
- 2012年
- 通过对有机气相沉积中气体的传输过程进行模拟,略述了OVPD传输的基本机制。利用蒙特卡洛法对有机蒸气通过掩膜孔的动力学沉积过程进行仿真,仿真结果表明薄膜的形状受沉积参数的影响,例如,分子平均自由程(沉积压强)、掩膜板的尺寸以及掩膜板至基板的距离。分析表明,通过缩小掩膜板至基板的距离,同时减小沉积压强可以提高所成薄膜图案的分辨率,减小掩膜板的厚度可以提高材料的使用效率。
- 陈文彬李国栋胡琛闫思家芮大为赵启义
- 关键词：分辨率
- 有机气相沉积中薄膜厚度分布的模拟研究
- 2011年
- 有机气相沉积是一种基于载气体传输的有机薄膜生长方式。为了优化沉积参数,提高有机薄膜的均匀性,建立了简化的OVPD模型,模拟了不同传输条件对流体动力学边界层的影响。建立了有机分子沉积模型并利用蒙特卡洛法对边界层内的沉积过程进行仿真。结果表明在133 Pa的操作压强下使气流雷诺数从0.05增加到15,可获得更薄、更均匀的边界层;沉积速度反比于边界层厚度,并且厚度均匀的边界层有助于获得较好的膜厚分布。
- 李国栋陈文彬赵启义芮大为
- 关键词：蒙特卡洛法
