国防科技重点实验室基金(51439040203QT0101)
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 相关作者：吉元王晓冬王俊忠李志国罗俊锋更多>>
- 相关机构：北京工业大学中国人民武装警察部队学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- Ni-W合金原位拉伸形变的电子背散射衍射分析
- 2008年
- 采用配置在场发射扫描电镜中的电子背散射衍射仪和应变微拉伸仪,统计分析了Ni-W合金在原位单轴拉伸变形过程中,显微结构、晶界分布、晶粒转动及晶体学取向的变化。在形变(ε=22%)过程中,Ni-9%W合金中的大量晶粒转动,产生滑移,并分为亚晶。应变使大角度晶界的含量增加,挛晶界明显减小,晶粒转动量达15°。立方织构(001)[100]随拉伸形变量的增加而减小。
- 王丽田彦宝张隐奇吉元索红利高忙忙祝永华
- 关键词：电子背散射衍射晶界特征
- Al互连线和Cu互连线的显微结构被引量：6
- 2007年
- 利用电子背散射衍射(EBSD)技术,测量了由反应离子刻蚀工艺(RIE)制备的Al互连线和大马士革工艺(Damascene)制备的Cu互连线的显微结构,包括晶粒尺寸、晶体学取向和晶界特征.分析了Cu互连线线宽,及Al和Cu互连线退火工艺对互连线显微结构及电徙动失效的影响.
- 王俊忠吉元王晓冬刘志民罗俊锋李志国
- 关键词：电子背散射衍射互连线显微结构
