福建省科技计划重点项目(2002H022)
- 作品数：10 被引量：29H指数：3
- 相关作者：孙道恒王凌云王明亮陈义华郑剑铭更多>>
- 相关机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：福建省科技计划重点项目福建省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术理学更多>>
- 超声技术在硅湿法腐蚀中的应用被引量：9
- 2009年
- 为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面，在硅湿法腐蚀中引入超声技术。对超声湿法腐蚀系统进行了改进，以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0．5℃之内。采用60℃，10％质量分数的KOH溶液，在超声频率为59kHz，超声功率为60～180w（间隔10W）条件下对（100）硅片进行湿法腐蚀。最后，运用激光共聚焦扫描显微镜（LSCM）对腐蚀后硅片表面粗糙度进行测量，并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响。实验结果表明：超声功率在120W时，可以获得平滑的腐蚀表面，表面粗糙度Rq值为0．020um。在湿法腐蚀系统中采用超声技术，可以明显改善腐蚀表面质量，在较低温度和较低浓度的KOH溶液中，选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面。
- 曾毅波王凌云谷丹丹孙道恒
- 关键词：湿法腐蚀超声技术表面粗糙度激光共聚焦扫描显微镜微机电系统
- 场发射真空传感器被引量：2
- 2008年
- 场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析,确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺,在硅片上制作了高3.2μm,曲率半径小于70nm的200×42硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下,可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流。实验结果表明,在10V-15V的输入电压范围内,通过测试场发射电流所得到的真空度值,其最大误差不超过10%。该真空传感器具有制作简单、易于集成、信号测量容易、自身不带密封腔等优点,具有潜在的应用前景和市场潜力。
- 文尉任王凌云孙道恒
- 关键词：场发射
- 表面微加工中镍的微电铸被引量：1
- 2005年
- 介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.
- 吕文龙陈义华孙道恒
- 关键词：微电铸脉冲镍
- 微尖的两种制作工艺
- 2004年
- 描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法,利用这两种方法制作出了针尖直径小于25nm的金字塔形微尖,通过实验证明:这是两种有良好可控性和工艺要求不高的制作方法。微尖的成功制作为传感器微型化提供了一种很有潜力的新型检测方式,解决了检测的灵敏度问题。
- 王明亮王艳华郑剑铭孙道恒
- 关键词：各向异性电镀
- 表面微加工中镍的微电铸
- 介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点。搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比。利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组...
- 吕文龙陈义华孙道恒
- 关键词：微电铸脉冲镍
- 文献传递
- 硅尖的制备及在传感器技术中的应用被引量：1
- 2003年
- 介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用。硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发。
- 王艳华王明亮孙道恒马海阳
- 关键词：硅尖刻蚀微加工技术传感器
- 基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计
- 2006年
- 在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一。陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力。通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按照一定的函数变化,当陀螺仪的悬臂梁振动时,其平板间的静电力的变化能很好地模拟陀螺仪中的Coriolis力,有限元分析结果也表明:应用该方法完全能实现陀螺的自检和测试。
- 王凌云陈义华孙道恒
- 关键词：可靠性陀螺仪平板电极
- 振动式微机械隧道陀螺仪的制备工艺
- 2008年
- 振动梁式微机械隧道陀螺仪是一种以悬臂梁作为换能构件,以电子隧道效应为输出敏感方式的高精度和高灵敏的角振动传感器,解决了传统机械陀螺仪因尺寸减小而导致的灵敏度降低的缺点。结合微机械隧道陀螺仪的尺寸特点:硅尖与下电极的距离为1μm,齿厚和齿间距之间的距离为4μm,梁的厚度为50μm,提出硅正面刻蚀—玻璃上电极制作—硅玻键合—硅背面减薄—硅背面刻蚀的DDSOG(DeepDrySiliconOnGlass)工艺方案,成功实现了整个器件的工艺制备。本文就DDSOG工艺中的关键工艺进行了一一论述,该工艺不仅能用于隧道陀螺仪的制备,同时也可以制作其它高深宽比传感器或执行器。
- 王凌云孙道恒刘益芳
- 关键词：微机械陀螺仪隧道效应硅尖
- 微机械隧道陀螺仪中微弱信号的检测技术被引量：9
- 2004年
- 针对微机械隧道陀螺仪输出信号的特点,设计出陀螺仪隧道电流的检测及校准电路.同时从理论上对电路进行误差分析,并对电路的实际安装技术进行了讨论.最后通过实际电路验证了该设计的可行性.
- 郑剑铭王凌云王明亮孙道恒
- 关键词：微弱信号惯性传感器扫描隧道显微镜
- 扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究被引量：1
- 2006年
- 设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能相关的机械耦合、静电驱动频率和敏感方向刚度等问题进行了有益的探讨,揭示了静电驱动频率的选择与敏感方向品质因子和驱动方向品质因子大小之间的内在联系,为陀螺仪的尺寸优化设计奠定了理论基础.
- 王凌云刘益芳孙道恒
- 关键词：微机械陀螺仪
