哈尔滨工业大学科研创新基金(HITNSFIR2011123)
- 作品数：2 被引量：13H指数：1
- 相关作者：汪桂根崔林韩杰才周福强张化宇更多>>
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- 发文基金：深圳市基础研究计划项目哈尔滨工业大学科研创新基金国家自然科学基金更多>>
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- 用于GaN基发光二极管的蓝宝石图形衬底制备进展被引量：13
- 2012年
- 近几年,图形化蓝宝石衬底因其作为GaN基发光二极管外延衬底,不仅能降低GaN外延薄膜的线位错密度,还能提高LED的光提取效率而引起国内外许多科研机构的广泛研究兴趣.本文综述了图形化蓝宝石衬底提高GaN基发光二极管性能的作用机理,重点评述了目前图形化蓝宝石衬底的制备方法(湿法刻蚀、干法刻蚀、固相反应)和图形尺寸(微米图形化、纳米图形化),分析比较了不同制备方法和图形尺寸制备蓝宝石图形衬底对GaN基发光二极管性能改善,最后针对蓝宝石图形衬底制备存在的问题对其今后的发展方向做出了展望.
- 崔林汪桂根张化宇周福强韩杰才
- 关键词：氮化镓发光二极管
- 高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备
- 2013年
- 首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜;最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应。在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺优化研究。SEM测试结果表明,图形化铝膜在450℃低温氧化热处理24 h后,其图形形貌没有发生明显改变;在温度低于1200℃的高温热处理1 h后,图形仍然存在。HRXRD分析表明,图形化铝膜在450℃低温热处理24 h后再在1000℃高温热处理1 h,可在蓝宝石衬底上形成氧化铝外延薄膜;并且相比于基片,氧化铝外延薄膜的结晶质量还有所提高。本方法成功实现了高效大功率用LED蓝宝石图形衬底的制备。
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- 关键词：蓝宝石图形衬底电子束光刻发光二极管
