国家自然科学基金(60676047)
- 作品数：13 被引量：23H指数：3
- 相关作者：赖宗声郭兴龙张永华欧阳炜霞刘蕾更多>>
- 相关机构：华东师范大学上海集成电路研发中心上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 金属线宽与间距渐变的片上螺旋电感设计规则研究被引量：2
- 2008年
- 在分析片上螺旋电感的磁场分布及射频损耗机制的基础上,研究了电感的金属线宽及线圈间距的变化对电感性能的影响,在大量数值分析基础上提出了金属线宽与间距之和不变,而金属线宽与间距之比从外圈到内圈逐渐减小的渐变型片上螺旋电感,并得到了实验验证,多组样品的测试结果与数值分析结果相吻合,以2.4GHz频段处为例,在高阻硅衬底上制备的5nH渐变结构电感的品质因子Q为11,比具有相同外径和电感值的固定金属线宽及间距的传统电感高19.6%。
- 刘婧石艳玲曹福全唐深群陈大为黄浩叶红波王勇薛琳艳
- 关键词：片上螺旋电感品质因子
- 基于MEMS技术的微波滤波器研究进展被引量：5
- 2008年
- 基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结,综述了近几年MEMS滤波器的研究进展,包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关/电容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要,具有重要的现实意义。
- 欧阳炜霞张永华王超郭兴龙赖宗声
- 关键词：MEMS技术微波滤波器可调滤波器
- 无线通讯用硅基微小天线
- 2008年
- 采用微电子加工工艺在高电阻率硅片上设计和制备了微小天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dBi,谐振频率约为3GHz,能够满足通讯系统中天线系统的要求,并且文章对天线的制作工艺进行了详细的介绍,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容.
- 郭兴龙金妍刘蕾欧阳炜霞赖宗声
- 关键词：IC工艺
- HDP介质淀积引起的等离子充电损伤机制研究被引量：1
- 2009年
- 高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD),具有卓越的填孔能力和可靠的电学特性等诸多优点,因此它被广泛应用于超大规模集成电路制造工艺中。本文研究了金属层间介质(IMD)的HDP CVD过程对栅氧化膜的等离子充电损伤。研究表明在HDP淀积结束时的光电导效应使得IMD层(包括FSG和USG)在较短的时间内处于导电状态,较大电流由IMD层流经栅氧化膜,在栅氧化膜中产生缺陷,从而降低了栅氧化膜可靠性。通过对HDP CVD结束后反应腔内气体组分的调节,IMD层的光电导现象得到了一定程度的抑制,等离子充电损伤得到了改善。
- 王鹏卜皎刘玉伟曹刚石艳玲刘春玲李菲孙玲玲
- 无线通讯用小型无人机载天线被引量：3
- 2006年
- 基于无人小飞机的有效载荷和有限空间要求,设计和制作了用于其通讯系统中ISM频段的高性能圆极化微带的一种中心开槽、边缘Y形两侧缝隙加载的变异方形微带贴片结构天线,给出了该天线的仿真结果,描述了圆极化天线的测试方法。测试结果表明,天线指标基本满足系统使用要求,波束宽度为±45°,增益达到4.5dB i,尺寸缩小约36%。将这种天线应用到无人小飞机系统中,可以方便地与射频模块集成,无线收发信机输出得到了良好的波形。实验结果表明,此缝隙加载圆极化微带天线能满足该无人小飞机电子系统实现无线图像及数据实时通信的要求,这将使得该系统的小型化成为可能。
- 郭兴龙刘蕾蔡描赖宗声陈瑾瑾
- 关键词：圆极化
- 无线通讯用硅基微小天线的设计与制作
- 2007年
- 采用微电子工艺在高电阻率硅片上设计和制备了一种新颖紧凑共平面波导馈电天线,并对其进行了仿真和测试,模拟和测试结果比较吻合,经过实验测试得到天线为水平和垂直双向辐射,天线的增益约为2.5dB,谐振频率约为3GHz,此天线有利于天线集成和与CMOS工艺等的兼容,并且对于无人驾驶飞机、卫星等飞行器的雷达和通讯等天线系统的设计具有参考价值。
- 郭兴龙蔡描刘蕾游淑珍赖宗声
- 关键词：集成电路工艺
- 一种MEMS复合牺牲层工艺的研究被引量：1
- 2009年
- 以MEMS滤波器中的MEMS开关牺牲层的工艺为例,通过同时运用聚酰亚胺和正胶作为牺牲层材料的方法,避免了牺牲层单独使用聚酰亚胺做材料难于去除,或单独使用光刻胶做材料,叠层旋涂光刻胶时会出现龟裂的缺点。改善了牺牲层固化和刻蚀的效果,减小了刻蚀的时间。此研究应用在表面微细加工工艺中,对MEMS加工工艺具有一定的参考价值。
- 王超张永华郭兴龙欧阳炜霞赖宗声
- 关键词：射频微机械开关牺牲层聚酰亚胺正胶刻蚀
- 基于共平面波导的可调低通滤波器的设计和制作
- 2008年
- 介绍了一种使用多触点MEMS开关实现的新型可调微波MEMS低通滤波器,应用MEMS制作工艺在石英衬底上实现滤波器结构.滤波器基于慢波共平面波导周期性结构,具有尺寸小、插损低、可与单片微波集成电路工艺兼容等优点。滤波器截止频率的大小取决于MEMS开关的状态。实验结果表明,当MEMS开关受到激励时,低通滤波器的3-dB截止频率从12.5GHz转换至6.1GHz,带内纹波小于0.5dB,带外抑制大于40dB,开关的驱动电压在25V左右。
- 刘蕾郭兴龙欧阳炜霞赖宗声
- 关键词：可调滤波器
- MEMS集成滤波器技术被引量：4
- 2008年
- 滤波器是频率转换系统(如,调谐电路、接收器)的基本构成模块。借助于MEMS技术实现的滤波器不仅带来插入损耗、功耗、线性等性能的改善,也有利于将整个通信前端集成到单一芯片上。综述了MEMS可调滤波器的研究进展。与单一利用MEMS电容的调变实现频率可调的滤波器相比,分形可调MEMS滤波技术有更小的插入损耗和更宽的调频范围。
- 张永华欧阳炜霞刘蕾郭兴龙赖宗声王硕
- 关键词：微电子机械系统开关可调滤波器
- 新型RF MEMS开关的动态表征
- 2007年
- 一种基于UV-LIGA加工技术的双稳态电磁型RF MEMS开关,由于其结构使用了永磁体单元而使得开关在维持"开"或"关"态时不需要功耗,从而实现低功耗的电磁驱动.利用非接触式Wyko NT1 100光学轮廓仪所附带的动态测量系统(DMEMS),对开关的动态响应进行了测量.测量结果表明开关实现了双稳态驱动,开关实现状态完全切换到位对应的响应时间不到20μs.
- 张永华刘蕾丁桂甫蔡炳初赖宗声
- 关键词：微电子机械系统射频开关双稳态
