国家自然科学基金(50576014) 作品数:8 被引量:6 H指数:2 相关作者: 李石栋 张仁元 王灵秀 陈观生 曾传滨 更多>> 相关机构: 广东工业大学 中国科学院微电子研究所 华中科技大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 化学工程 电子电信 一般工业技术 理学 更多>>
被动式旋流微混合器的实验研究 2008年 目的:设计和制作一种被动式旋流混合器,为药品分析和生物制剂提供新选择。方法:从层流扩散混合机理出发,设计利用流体自身旋转提高混合效益的被动式旋流微混合器。提出了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)旋流式微混合器的一种简易制作方法,并从理论上分析了在超纯水环境中紧固方法实现微混合器基片和盖板之间封合的可行性。结果:采用体试显微镜和表面轮廓仪对制作的旋流式微混合器形貌、混合腔深度及加工表面粗糙度进行了表征。结论:在一定尺度范围内随混合腔深度的增加,混合器混合性能得到改善,微混合器可以作为生物制剂和药品分析的新选择。 王灵秀 张仁元 陈观生 李石栋关键词:聚甲基丙烯酸甲酯 源漏硅化物扩散层分离技术对SOINMOS抗ESD的影响 被引量:1 2008年 采用金属硅化物扩散层分隔技术制备了源漏区具有不同硅化物挡板尺寸的环型栅PD SOI MOSFETs,通过CLP实验数据分析器件的硅化物隔离档板的尺寸对SOI NMOSTET抗ESD能力以及对多指栅ggnMOS管子导通均匀性的影响。结果显示,采用了硅化物隔离挡板的管子二次击穿电压明显提高;随着挡板尺寸增加,多指栅的导通均匀性得到明显改善。 宋文斌 许高博 曾传滨 韩郑生关键词:ESD 二次击穿 导通电阻 二氧化钛过渡层对脉冲激光沉积钛酸锶钡薄膜微结构和介电性质的影响 2008年 选取极薄TiO2作为过渡层,采用脉冲激光沉积法分别在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究过渡层对BST薄膜微结构及电学性质的影响。发现厚度20纳米以内的锐钛矿相结晶TiO2过渡层可使BST薄膜由无规则取向转变为(111)择优取向,而非晶和较厚TiO2过渡层对BST薄膜的取向无影响。结晶的TiO2过渡层也使薄膜的表面颗粒变细。还研究了不同厚度TiO2对BST薄膜电学性质的影响,结果表明BST薄膜在Pt(111)底电极上加入极薄的结晶TiO2过渡层后电学性质有明显改善,薄膜的介电常数和可调谐度提高,而介电损耗降低。加入膜厚约5nm的TiO2过渡层后,测试频率为10 kHz时薄膜相应介电常数、介电损耗及可调谐度分别为513、0.053和36.7%。 张鹏展 沈明荣 徐俞关键词:脉冲激光沉积法 BST薄膜 微结构 介电性质 微混合器内混合过程的数值模拟 2008年 对一个双向进口的微型圆柱混合器的混合过程进行了数值模拟,并与实验结果进行了对照.结果表明,该微混合器没有设置专门的扰流装置,仅采用两侧切向进流体,两种流体在混合器内产生了较好的混合效果.研究表明,混合效果并不是随着雷诺数增大而增强,只有在雷诺数小于90的范围内,才能够得到均匀的混合效果. 刘湘云 张仁元 柯秀芳 李石栋关键词:微尺度 雷诺数 旋流式微混合器的制作及性能分析 2008年 从层流扩散混合机理出发,设计了一种利用流体自身旋转提高混合效益的被动式旋流微混合器.以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为材料,从理论上分析了在超纯水环境中利用螺丝紧固方法实现微混合器基片和盖板之间封合的可行性,并采用SEM对其密封状况进行表征.通过实验,分析了不同混合腔深度对混合器混合性能的影响,得出在一定尺度范围内随混合腔深度的增加,混合器混合性能得到改善的结论. 王灵秀 张仁元 陈观生 李石栋关键词:聚甲基丙烯酸甲酯 微螺旋混合器的混合实验研究及数值模拟分析 被引量:1 2008年 设计一种结构简单、没有专门扰流装置的被动式微螺旋混合器.并介绍混合实验的过程和结果分析,得出混合质量分数与灰度的关系.建立数学和物理模型,通过通用商业CFD软件进行数值模拟,模拟结果与实验结果比较吻合. 李石栋 张仁元 陈观生 王灵秀关键词:数值模拟 灰度 旋流式微混合器混合特性 被引量:2 2008年 本文以三层聚甲基丙稀酸甲脂材料黏合制作一种双通道旋流式微混合器。实验探讨了相同直径不同深度的微混合器中,不同进口流速下0.05%罗丹明B溶液和去离子水两流体的混合特性。利用带高分辨数字摄像机的体视显微镜观察并记录混合过程,Image J软件进行混合图像处理,分析流体从进口到出口沿半径方向上浓度变化趋势,比较各类情况下的混合效益。结果表明,随着进口速率和混合腔深度的增加,混合效益得到提高,混合腔内的旋转绕流有利于增加流体间的界面,缩减流层厚度,改进混合质量。 王灵秀 张仁元 陈观生 李石栋关键词:旋流 T型微混合器混合特性的浓度分布评价法 被引量:2 2008年 提出一种微混合器混合性能的评价方法。在样品盒中注入不同浓度罗丹明B溶液并用体视显微镜观察捕获图像,通过ImageJ软件读取图像灰度值,建立不同深度下溶液的浓度-灰度值函数关系,运用此关系式将T型微混合器3种不同深度(0.1、0.2和0.4mm,质量浓度0.05%的罗丹明B溶液和去离子水作为配对流体)混合实验中捕获的图像中各像素点上的灰度值转换为浓度值,绘制浓度等高线图及浓度频数分布图,分析各自混合情况,最后引入浓度混合指数概念及计算公式,分析3种深度混合器内不同截面上的混合程度。此方法从定性和定量两方面分析了微尺度下混合腔深度对微混合的影响程度,具有一定的应用价值。 王灵秀 张仁元 陈观生 李石栋