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国家自然科学基金(60676027)

作品数:10 被引量:27H指数:3
相关作者:陈松岩李成赖虹凯余金中周志文更多>>
相关机构:厦门大学中国科学院集美大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划福建省重点科技计划项目更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 10篇期刊文章
  • 5篇会议论文

领域

  • 10篇电子电信
  • 4篇理学
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇SI/SIG...
  • 3篇探测器
  • 2篇光电
  • 2篇光电探测
  • 2篇光电探测器
  • 2篇SI(100...
  • 2篇波导
  • 2篇THZ
  • 2篇SIGE
  • 1篇电极
  • 1篇支撑柱
  • 1篇直流
  • 1篇太赫兹
  • 1篇特性分析
  • 1篇外延层
  • 1篇微腔
  • 1篇位错
  • 1篇量子
  • 1篇量子点
  • 1篇量子级联

机构

  • 13篇厦门大学
  • 3篇中国科学院
  • 2篇集美大学

作者

  • 12篇陈松岩
  • 10篇李成
  • 9篇赖虹凯
  • 7篇余金中
  • 6篇周志文
  • 5篇张永
  • 4篇林桂江
  • 3篇蔡坤煌
  • 2篇周志玉
  • 2篇周笔
  • 2篇蔡志猛
  • 2篇王启明
  • 1篇何熙
  • 1篇谷丹丹
  • 1篇汪建元
  • 1篇方辉
  • 1篇黄燕华
  • 1篇罗仲梓
  • 1篇蔡加法
  • 1篇陈锐

传媒

  • 4篇Journa...
  • 4篇第十六届全国...
  • 2篇光电子.激光
  • 1篇厦门大学学报...
  • 1篇半导体光电
  • 1篇Chines...
  • 1篇材料科学与工...

年份

  • 3篇2009
  • 6篇2008
  • 6篇2007
10 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
UHV/CVD法生长硅基低位错密度厚锗外延层被引量:6
2008年
采用超高真空化学气相淀积系统,以高纯Si2H6和GeH4作为生长气源,用低温缓冲层技术在Si(001)衬底上成功生长出厚的纯Ge外延层.对Si衬底上外延的纯Ge层用反射式高能电子衍射仪、原子力显微镜、X射线双晶衍射曲线和Ra-man谱进行了表征.结果表明在Si基上生长的约550nm厚的Ge外延层,表面粗糙度小于1nm,XRD双晶衍射曲线和Ra-man谱Ge-Ge模半高宽分别为530″和5.5cm-1,具有良好的结晶质量.位错腐蚀结果显示线位错密度小于5×105cm-2.可用于制备Si基长波长集成光电探测器和Si基高速电子器件.
周志文蔡志猛张永蔡坤煌周笔林桂江汪建元李成赖虹凯陈松岩余金中王启明
关键词:
红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究
2008年
基于一般正胶光刻工艺的剥离工艺,所需胶膜的厚度要大大超过剥离薄膜的厚度.这样在剥离线宽小、厚度大的微腔结构探测器的金属互连柱图形时就会存在光刻分辨率低、剥离难的问题.本文重点研究了基于AZ5214E光刻胶图像反转性能的剥离工艺,对图像反转光刻所特有的反转烘、掩模曝光、泛曝光工艺条件进行了详细的对比实验.结果表明:当反转烘温度为96-98℃,第一次掩模曝光时间和泛曝光时间分别为8.1 s、8.4 s时,可以得到较好的光刻图形.通过电子束蒸发Ti,成功剥离出高2.40μm、面积3.0μm×3.0μm的Ti微互连柱.此工艺的优点在于分辨率高,胶膜与剥离薄膜的厚度比接近1时,也能剥离出所要图形,可以用于制备MEMS微腔器件中的微互连柱.
何熙陈松岩方辉罗仲梓谷丹丹
低温Ge作缓冲层的高组份SiGe弛豫衬底生长研究
<正>Si 基 SiGe 合金和纯 Ge 材料具有良好的光电热性能,并且与 Si 工艺兼容,在微电子和光电子器件方面得到了广泛应用,如异质结双结型晶体管,应变 Si、SiGe 和 Ge 高迁移率 MOS 管,近红外1.3...
周志文蔡志猛张永周笔林桂江赖虹凯李成陈松岩余金中
文献传递
GaN/metal/Si heterostructure fabricated by metal bonding and laser lift-off被引量:1
2009年
A process methodology has been adopted to transfer GaN thin films grown on sapphire substrates to Si substrates using metal bonding and laser lift-off techniques. After bonding, a single KrF (248 nm) excimer laser pulse was directed through the transparent sapphire substrates followed by low-temperature heat treatment to remove the substrates. The influence of bonding temperature and energy density of the excimer laser on the structure and optical properties of GaN films were investigated systemically. Atomic force microscopy, X-ray diffraction and photoluminescence measurements showed that (1) the quality of the GaN film was higher at a lower bonding temperature and lower energy density; (2) the threshold of the energy density of the excimer laser lift-off GaN was 300 mJ/cm^2. The root-mean-square roughness of the transferred GaN surface was about 50 nm at a bonding temperature of 400 ℃.
张小英阮育娇陈松岩李成
关键词:SILICON
氧化法制备SiGe弛豫缓冲层及其表征
制备低位错密度、表面平整、高 Ge 组分渐变的 SiGe 弛豫缓冲层具有重要的意义,它是实现 Ge 红外探测器、应变 Si-MOS 器件的基础。传统的 Ge 组分渐变缓冲层,需要很大的厚度才能实现较高 Ge 组分并将位错...
蔡坤煌张永李成赖虹凯陈松岩
关键词:SI/SIGE
文献传递
Si基Ge波导光电探测器的制备和特性研究被引量:10
2009年
以外延Ge薄膜为吸收区,在Si基上制备了Ge波导光电探测器。利用超高真空化学汽相淀积(UHV/CVD)设备,采取低温高温两步法,在Si(100)衬底上外延出厚度约为500nm的高质量纯Ge层。探测器采用脊型波导结构,Al电极分别制作在波导的台面上下形成背对背肖特基结。I-V特性测试表明,在-1V偏压下,暗电流密度为0.2mA/cm2。由于Si与Ge热失配引起外延的Ge薄膜受到0.2%张应变,减小了Ge带隙,光响应波长范围扩展到1.60μm以上。在70mW、1.55μm入射光照射下,测得光电流比暗电流高出近1个数量级。
陈荔群周志文李成赖虹凯陈松岩
关键词:波导光电探测器
Si_(0.75)Ge_(0.25)虚衬底上应变补偿Si/Si_(0.62)Ge_(0.38)量子阱发光被引量:2
2009年
由于Si/SiGe异质结构的带阶差主要发生在价带,为实现高效率的发光,本文从理论上设计了在硅基Si1-xGex虚衬底上外延应变补偿的Si/S1-yGey(y>x)量子阱的能带结构,将量子阱对电子的限制势垒提高到100meV以上。在实验上,采用300℃生长的Ge量子点插入层,制备出薄的SiGe驰豫缓冲层(虚衬底),表面Ge组份达到0.25,表面粗糙度小于2nm,驰豫度接近100%。在我们制备的SiGe缓冲层上外延了应变补偿SiGe/Si多量子阱结构,并初步研究了其发光特性。
廖凌宏周志文李成陈松岩赖虹凯余金中王启明
关键词:光致发光谱
Ge/Si(100)量子点生长与形态分布的研究
<正>在 S—K模式下自组装生长的 Ge 量子点具有随机分布的特点,很难达到器件的应用要求,制备有序性的 Ge 量子点成为提高器件性能的关键。本文利用超高真空化学气相淀积(UHV—CVD)系统, 通过控制淀积量、温度、流...
周志玉王钰周志文李成陈松岩余金中赖虹凯
文献传递
Study of valence intersubband absorption in tensile strained Si/SiGe quantum wells
2008年
The hole subband structures and effective masses of tensile strained Si/Sil-yGey quantum wells are calculated by using the 6 × 6 k·p method. The results show that when the tensile strain is induced in the quantum well, the light-hole state becomes the ground state, and the light hole effective masses in the growth direction are strongly reduced while the in-plane effective masses are considerable. Quantitative calculation of the valence intersubband transition between two light hole states in a 7nm tensile strained Si/Si0.55Ge0.45 quantum well grown on a relaxed Si0.5Ge0.5 (100) substrates shows a large absorption coefficient of 8400 cm^-1.
林桂江赖虹凯李成陈松岩余金中
关键词:SI/SIGE
干法氧化制备SiGe弛豫缓冲层及其表征被引量:2
2007年
SiGe弛豫缓冲层是高性能Si基光电子与微电子器件集成的理想平台.通过1000℃干法氧化组分均匀的应变Si0.88Ge0.12层,在Si衬底上制备了表面Ge组分大于0.3,弛豫度大于95%,位错密度小于1.2×105cm-2的Ge组分渐变SiGe弛豫缓冲层.通过对不同氧化时间的样品的表征,分析了氧化过程中SiGe应变弛豫的主要机制.
蔡坤煌张永李成赖虹凯陈松岩
关键词:位错
共2页<12>
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