国家自然科学基金(60476033)
- 作品数：8 被引量：20H指数：3
- 相关作者：王跃林金仲和马慧莲吴昌聚王慧泉更多>>
- 相关机构：浙江大学中国科学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 数字式MEMS加速度计噪声分析和参数优化被引量：2
- 2009年
- 针对在数字式加速度检测系统信号处理过程中,量化噪声影响系统性能的问题,分析了数字式MEMS加速度计系统中的幅度和相位量化噪声,重点阐述了CORDIC算法中的相位量化误差对系统总噪声功率的影响,提出了系统参数的优化方案,建立了数字系统的数学模型,对优化方案进行了仿真,并采用以FPGA为核心的数模混合系统对优化方案进行了验证.结果表明,对CORDIC算法的相位控制字进行优化后,系统的输出噪声系统误差减小为优化前的10%,噪声特性有显著改善.
- 周晓奇王昊金仲和王跃林
- 关键词：加速度计量化噪声
- 高性能微机械陀螺接口电路研究被引量：4
- 2006年
- 微机械陀螺输出信号非常微弱,从系统角度对其接口电路进行研究,采用闭环驱动,通过改善驱动信号稳定性及陀螺输出端接口电路,系统性能得到较大提高,改善后系统灵敏度9.8mV/(o).s-1,非线性度0.43%,分辨率达180°/h。
- 王慧泉郁发新金仲和郑旭东陈永焦继伟王跃林
- 关键词：微机械陀螺自动增益控制差分电容
- 影响牺牲层腐蚀速率的因素研究被引量：3
- 2006年
- 精确预测腐蚀速率对于避免过腐蚀和节省时间,从而提高MEMS器件加工的效率具重大意义。通过改变牺牲层材料、腐蚀液浓度、温度和牺牲层结构来改变腐蚀速率是常用的方法。在前人腐蚀模型基础上考虑扩散系数是浓度和温度的函数,腐蚀速率常数是温度的函数,得到了修正模型。从修正模型中找出影响腐蚀速率的各种因素的对应参数,并对其影响腐蚀速率的机理进行详细地研究,这样就为通过修改某些因素来改变腐蚀速率提供了依据。
- 吴昌聚马慧莲金仲和丁纯王跃林
- 关键词：MEMS腐蚀速率牺牲层腐蚀
- 传感器电路中乘法器噪声模型分析被引量：3
- 2006年
- 本文对两输入端都带噪声情况下乘法器的响应进行了理论推导,得到其噪声模型:乘法器输出噪声包括载波携带信号噪声项、信号携带载波噪声项以及噪声相乘项。设计传感器电路时,通过提高载波纯度及其幅度、在信号输入端加性能优良的带通滤波器,可以得到优异的噪声性能。本文用实验验证了该模型的正确性。
- 王慧泉郁发新金仲和杨桂东王跃林
- 关键词：乘法器噪声模型相干检测
- Bubble结构牺牲层腐蚀的一种改进模型被引量：2
- 2006年
- 以往的牺牲层腐蚀模型把扩散系数看作是常数,然而,实验结果和以往模型的计算结果在腐蚀开始一段较短的时间内吻合较好,但随着腐蚀时间的变长两者的差异越来越明显.为了解释这一现象并使模型能够较好地预测腐蚀过程,提出了腐蚀模型应该考虑氢氟酸扩散系数是浓度的函数,并在此基础上得到了改进模型.在改进模型中,浓度的下降会引起扩散系数的增大,这部分补偿了腐蚀前端浓度的下降.另外在改进模型中,扩散系数还是温度的函数.实验表明,改进模型与实验结果吻合地较好.这些结果不仅为对牺牲层腐蚀机理的理解提供新的证据,而且也为溶液在bubble结构里面的扩散提供新的证据.文中所观察到的这些现象也适合于其他类型的牺牲层腐蚀,条件是其腐蚀过程是受扩散限制的.
- 吴昌聚马慧莲金仲和王跃林
- 关键词：MEMS牺牲层腐蚀
- 退火对牺牲层腐蚀前端形状和腐蚀速率的影响
- 2006年
- 从片子的生长工艺出发对腐蚀前端的形状进行了研究。提出了应力是产生腐蚀前端三角形的主要原因的推测,并通过退火实验验证了这一推测。在对退火处理影响腐蚀速率机制研究的基础上,得出了不同退火条件对腐蚀速率的影响规律。
- 吴昌聚郁发新金仲和马慧莲王跃林
- 关键词：退火牺牲层腐蚀速率
- 基于BOE硅腐蚀现象的硅纳米线制作被引量：2
- 2007年
- 介绍一种硅纳米线制作方法.在SOI顶层硅上制作硅纳米梁,通过离子注入形成pnp结构,利用新发现的没有特殊光照时BOE溶液腐蚀pn结n型区域现象,结合BOE溶液氧化硅腐蚀,实现硅纳米线制作.制作完全采用传统MEMS工艺,具有工艺简单,成本低,可控,可靠性好,可批量制作等优点.利用该方法制作出了厚50nm,宽100nm的单晶硅纳米线,制作的纳米线可用于一维纳米结构电学性能研究、谐振器研究等.
- 王慧泉郑阳明金仲和马慧莲李铁王跃林
- 关键词：硅纳米线PN结
- 纳米厚度牺牲层腐蚀速率研究被引量：4
- 2006年
- 通过大量的实验研究,建立了一套纳米量级牺牲层腐蚀行为的实验研究方法。对牺牲层厚度对腐蚀速率的影响进行了详细地研究,并得到了如下结论当牺牲层厚度达到微米量级时,其腐蚀速率随着牺牲层厚度的增大而加快,但当其达到纳米量级时,由于固体表面存在的静电荷而产生双电层效应,这种效应对腐蚀速率的影响超过了牺牲层厚度的影响,最终使得腐蚀速率和牺牲层厚度无关。
- 吴昌聚马慧莲金仲和王跃林
- 关键词：牺牲层腐蚀腐蚀速率
