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福建省教育厅科技项目(JA03009)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：阮文农程树英林吉申王灵婕更多>>
相关机构：福州大学更多>>
发文基金：福建省教育厅科技项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇金属薄膜
  • 1篇感器
  • 1篇氨气
  • 1篇MEMS
  • 1篇MOS结构
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇催化

机构

  • 1篇福州大学

作者

  • 1篇王灵婕
  • 1篇林吉申
  • 1篇程树英
  • 1篇阮文农

传媒

  • 1篇福州大学学报...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
催化金属薄膜对MOS结构MEMS氨敏传感器性能的影响被引量：2
2006年
利用MEMS技术,在硅平面上经过热氧化、掺杂、溅射、光刻、清洗等工艺,制成MOS结构的氨敏传感器,并将双加热器和测温器集成于一体.该传感器的栅极是以Pd栅为主,同时修饰多种金属薄膜.通过研究修饰催化金属薄膜的种类以及薄膜的厚度对传感器的灵敏度和选择性的影响,结果表明:采用多种金属薄膜混合修饰栅极表面的传感器对氨气有较好的选择性和稳定性;催化金属薄膜厚度在10～30nm时,该传感器对氨气最敏感.
程树英阮文农王灵婕林吉申
关键词：氨气MEMS传感器MOS结构
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共1页<1>
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