国家自然科学基金(90607012)
- 作品数：9 被引量：16H指数：2
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- 应用于体声波谐振器的ZnO薄膜结构和电学特性被引量：2
- 2008年
- 采用直流磁控溅射的方法制备了ZnO压电薄膜,并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器。X射线衍射结果显示ZnO压电薄膜C轴择优取向明显,衍射峰半高宽为0.1624°,显示出较好的结晶质量;扫描电镜分析观察到ZnO垂直于基片表面的柱形晶粒结构和较平滑的薄膜表面。体声波器件的电学测试结果显示器件具有很好的多模谐振特性,说明ZnO压电薄膜很好地激发出了厚度方向的纵声波,可应用于体声波器件和声表面波器件中。另外采用间接的方法得到ZnO压电薄膜在870MHz时的介电常数约为5.24,介电损耗因子为1.07,进一步减小介电损耗因子,可以提高器件的Q值。
- 汤亮李俊红郝震宏乔东海汪承灏
- 关键词：氧化锌薄膜压电磁控溅射X射线衍射体声波谐振器
- 薄膜体声波谐振器建模与仿真
- 本文对薄膜体声波谐振器进行了建模,尤其是在模型中考虑了材料的声损耗和压电膜介电损耗,从制备的高次谐波体声波谐振器电学测试结果中提取出尺寸为5×10m×2μm的氧化辞压电薄膜介电损耗电阻在87OMHz 时约为 303Ω,分...
- 汤亮汪承灏郝震宏乔东海
- 关键词：薄膜体声波谐振器微波振荡器射频滤波器双工器射频微机电系统
- 文献传递
- 基于自测试的VLSI芯片可靠性技术研究
- 随着工艺尺寸的不断减小，VLSI芯片的性能也在不断提高，同时给VLSI芯片的测试带来了诸多挑战。目前，在纳米工艺下，自测试是解决VLSI芯片测试的研究热点，自测试的研究为VLSI芯片的可靠性提供了一种有力保障。 本论文...
- 方祥圣
- 关键词：VLSI芯片数据压缩
- 2.17GHz高Q射频薄膜体声波谐振器的研制
- ＜正＞1引言消费类电子产品和个人通讯系统市场的快速扩张,引起了对无线通信系统（如掌上电脑、手机、导航系统、卫星通信以及各种数据通信）的极大需求。制备高性能、小尺寸、低成本的单芯片射频系
- 汤亮郝震宏乔东海
- 关键词：无线通信系统谐振频率
- 文献传递
- 支持层结构对薄膜体声波谐振器谐振特性的影响
- 首先推导出了加入材料介质声损耗的一维Mason模型,并利用该模型分析了支持层结构对FBAR器件谐振特性的影响,包括不同支持层材料及厚度对FBAR器件性能的影响。相对于二氧化硅薄膜而言,氮化硅薄膜更适合于作为FBAR器件的...
- 汤亮郝震宏乔东海
- 关键词：射频微机电系统薄膜体声波谐振器高Q值
- 文献传递
- 基于薄膜体声波谐振器的低相噪射频振荡器设计
- 在硅基上制备了谐振频率约为2.4GHz 的薄膜体声波谐振器,谊谐振器在串联谐振频率处的 Q 值为 500.3,在并联谐振频率处的 Q 值为425.5。基于该 FBAR 器件,设计了一种低相噪射频振荡器,该振荡器的振荡频率...
- 汤亮郝震宏乔东海
- 关键词：薄膜体声波谐振器振荡器低相噪射频
- 文献传递
- ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制被引量：2
- 2008年
- 采用射频网络法分析了ZnO薄膜体声波谐振器的谐振特性,并考虑了介质声损耗对品质因数Q值的影响。采用硅体刻蚀工艺在硅基片上制备了以ZnO薄膜为压电膜的薄膜体声波谐振器,并对器件的性能进行了测试。将实验与理论分析结果进行对比,发现实验器件的谐振频率与理论值一致,但器件Q值却比理论值低,进一步的分析揭示了实际器件Q值偏低的原因。
- 汤亮郝震宏乔东海汪承灏
- 关键词：双工器振荡器射频微机电系统薄膜体声波谐振器
- 射频磁控溅射法制备ZnO压电薄膜及其性能分析
- 采用射频磁控溅射法制备了ZnO压电薄膜,并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器进行性能验证。X射线衍射结果显示ZnO压电薄膜C轴择优取向明显,衍射峰半高宽为0.18°,显示出较好的结晶质量。高次谐波体声波...
- 汤亮郝震宏齐敏孙泉乔东海
- 关键词：ZNO压电薄膜射频磁控溅射X射线衍射体声波谐振器
- 文献传递
- 改进降低OFDM系统PAPR的DSI方法被引量：1
- 2012年
- 作为第四代移动通信系统的核心技术,正交频分复用(OFDM)技术已成为当今高速无线通信领域的研究热点。但是OFDM调制中存在的高峰均功率比(PAPR),为其实用化设置了障碍。本文对现有的降低PAPR的虚序列方法(DSI)提出了两种改进方式,就是在减小OFDM系统复杂性的前提下,对此系统发射端的信号进行处理,保证输入到IFFT处理器中的数据序列相关性为0,从而降低OFDM信号的高峰均功率比。
- 刘江宁
- 关键词：正交频分复用峰值平均功率比
- 一款通用CPU中的Load Aligner数据通道的全定制设计
- 2003年
- 深亚微米时,芯片的设计和制造成了一个复杂浩大的工程体系。本文以一款通用CPU的Load Aligner数据通道部分的全定制设计为例,讲述了一个集成电路子模块的逻辑设计、电路设计、版图设计,并给出了相关结果。
- 刘婷英江建慧
- 关键词：全定制设计逻辑设计版图设计
