国家自然科学基金(60574066)
- 作品数：9 被引量：29H指数：3
- 相关作者：伍乃骐潘春荣费树岷丛屾李飞更多>>
- 相关机构：广东工业大学汕头大学东南大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术自然科学总论机械工程经济管理更多>>
- 晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究被引量：14
- 2009年
- 晶圆制造的加工工艺日趋复杂,存在严格的逗留时间约束,无法解决自动化组合设备的调度问题,尤其对于重入加工、作业时间的随机波动及多自动化组合设备等复杂的加工过程更是如此。通过分析晶圆制造自动化组合设备调度的难点和局限性以及现有的调度方法及其局限性,提出了"仿真+启发式+优化"的方法,可能是有效解决组合设备调度问题的途径。
- 潘春荣伍乃骐
- 关键词：晶圆制造调度PETRI网
- 基于eM-Plant的虚拟晶圆制造自动组合装置被引量：3
- 2009年
- 针对难以用解析法验证半导体加工装置的调度可行性问题,提出仿真建模研究的新方法。利用仿真软件eM-Plant建立晶圆制造中单臂自动组合装置的参数化仿真模型,构建一个虚拟的晶圆制造系统。该系统为研究自动组合装置控制问题提供有效手段,是验证半导体制造生产调度可行性的仿真平台。
- 李飞伍乃骐
- 关键词：晶圆制造仿真
- 时滞切换系统稳定性分析与镇定—Lyapunov函数方法被引量：6
- 2007年
- 利用Lyapunov函数方法克服“相空间”与“事件空间”之间的不一致,以考虑时滞切换系统稳定性的分析与综合.其一,对将多Lyapunov函数方法推广至时滞情形,由此给出子系统稳定性准则及切换序列的约束条件,使整个系统是指数稳定的.其二,对于不稳定的时滞子系统,提出了保证观测误差在任意切换作用下指数衰减的观测器设计方法,并构造出基于估计状态的切换序列,使状态变量指数收敛.
- 丛屾费树岷徐君祥
- 关键词：切换系统时滞
- 时滞切换系统指数稳定性分析：微分不等式方法被引量：1
- 2008年
- 考虑由多个时滞系统组成的切换系统,并研究在什么条件下,可以把无时滞切换系统的稳定性分析及结论推广至上述的时滞系统.方法是将时滞项作为线性常微分方程扰动项,利用常数变易公式与Halanay微分不等式,分析时滞项对于切换系统稳定性的影响.结论表明,在时滞项满足某些前提时,切换系统稳定性分析的Lyapunov方法仍然适用.仿真算例验证了方法的有效性.
- 丛屾费树岷李涛
- 关键词：切换系统时滞
- 基于eM-Plant的晶圆重入加工自动组合装置仿真
- 2012年
- 原子层沉积加工是晶圆制造中典型的重入加工,在这个过程中,晶圆需要在同一个模块中被加工多次,这使得整个系统的调度变得很复杂。为此,基于eM-Plant系统仿真软件,建立了晶圆制造单臂自动组合设备的模型,通过该模型模拟了晶圆重入加工调度过程,最终获得系统加工的节拍,为以后研究晶圆重入加工提供了一个有效方法。
- 龚倩白丽平伍乃骐
- 关键词：晶圆制造EM-PLANT仿真
- 晶圆制造中单臂Cluster tool的建模与仿真被引量：2
- 2009年
- 对于单臂的Cluster tool,由于晶圆驻留时间的约束和作业时间的波动性,还没有解析的方法能够验证其调度的可行性和有效的调度方法。介绍了晶圆制造过程并基于Petri网模型,利用eM-Plant仿真平台建立了相应的晶圆制造的仿真模型。通过实例说明仿真模型能够虚拟单臂的Cluster tool、准确地仿真单臂的Cluster tool的晶圆制造模式;晶圆制造的仿真模型为研究其调度可行性分析和控制器设计提供了一种有效的手段。
- 潘春荣伍乃骐
- 关键词：晶圆制造CLUSTERTOOL调度
- 虚拟晶圆制造双臂自动组合装置的实现被引量：3
- 2009年
- 以eM-Plant系统仿真软件为工具,构建出一个虚拟的双臂自动组合装置。该装置克服了传统解析法的缺点,通过仿真模型来描述与分析半导体加工装置的调度问题,是研究人员研究自动组合装置控制问题的有效手段,也是半导体制造工程师验证生产调度的可行性的仿真平台。
- 李飞伍乃骐
- 关键词：晶圆制造仿真EM-PLANT
- 基于Petri Net的双臂组合设备故障响应策略的研究被引量：2
- 2014年
- 晶圆制造的加工工艺日趋复杂,组合设备加工模块中存在严格的逗留时间约束以及频繁的故障,因此研究其生产调度,排除出现的故障成为至关重要的问题。通过分析双臂组合设备的并行模块及其加工流程模式,建立能够描述系统的稳态特性的Petri Net模型。基于该模型,当双臂组合设备并行模块出现故障时,分析系统的可调度性,对可调度情况提出有效的运行控制策略,使得晶圆不违反严格的逗留时间约束。最后通过实例验证该控制策略的可行性。
- 余华光白丽平
- 关键词：晶圆制造PETRINET
- 模块化组合设备的晶圆加工过程建模研究被引量：3
- 2007年
- 晶圆加工过程中使用的模块化组合设备具有可重构性,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定,针对这一特点,研究了晶圆加工系统的Petri网建模问题。对晶圆加工模块化组合设备的加工流程进行了分析,给出了描述晶圆加工过程的时间Petri网模型。为避免Petri网模型随着设备复杂程度的增加而迅速膨胀,通过对系统运行特点的分析,建立了着色时间Petri网模型,网中节点数为常数值,与设备的复杂程度无关。从满足晶圆加工时间约束的角度,给出了带有时序控制器的着色时间Petri网模型,该模型有助于研究复杂制造系统的动态行为和生产过程控制。
- 苏平伍乃骐于兆勤
