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国家重点基础研究发展计划(51210Z09)
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
相关作者:
周英
邓宏
李燕
程珍娟
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相关机构:
电子科技大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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氧化锌薄膜
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程珍娟
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李燕
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周英
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1篇
2006
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溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜
被引量:4
2006年
采用了溶胶-凝胶工艺在普通的玻璃载玻片上成功地制备出具有c轴择优取向性、高的可见光透光率、平整均匀的氧化锌薄膜。通过XRD、AFM以及UV光谱仪等分析,其结果表明:所制备的氧化锌薄膜具有纤锌矿型结构,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在40~90nm,溶胶浓度增大时,其晶粒大小呈增大的趋势。随着涂膜层数的增加,薄膜的(002)方向的取向度增加。薄膜在可见光区的光透过率>85%,在近紫外光波段透射率急剧减小,对应的禁带宽度为3.34eV。
周英
邓宏
李燕
程珍娟
关键词:
溶胶-凝胶法
ZNO薄膜
禁带宽度
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