中国科学院知识创新工程重要方向项目(A2K0009)
- 作品数：6 被引量：25H指数：4
- 相关作者：陈旭南陈元培李展陈献忠安卫军更多>>
- 相关机构：中国科学院更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程金属学及工艺更多>>
- 超细激光束准直器的原理与设计被引量：5
- 2003年
- 提出一种用衍射光学器件产生超细准直激光束的方法。该方法具有设计、制造和装配简便等特点。介绍了器件设计的原理 ,给出了一种实用的设计方案和模拟结果。
- 陈元培李展陈旭南
- 关键词：准直器衍射光学元件激光
- 光子晶体——一种新型人工带隙材料被引量：10
- 2003年
- 光子晶体是近十年来才发展起来的存在光子禁带的一种新型人工材料,具有操控光子行为的独特能力,在众多领域有着广泛的用途。介绍了光子晶体的结构特征,分析了光子带隙产生的物理机理,着重介绍了光子晶体材料中存在的新现象及其应用。
- 石建平陈旭南张小玉张磊安卫军秦涛
- 关键词：光子晶体光子禁带微电子学半导体
- 高真空光刻样品CCD显微观察装置
- 2003年
- 介绍了利用光场控制中性原子束制作微细图形的基本原理。针对具体的实验系统 ,设计并建立了一套用于高真空系统中原子光刻样品的 CCD显微观察装置 ,该装置以CCD相机实时采样通过计算机自动图像处理直接显示和输出样品的微结构信息。与传统装置相比 ,该装置在实验初期摸索实验工艺参数方面具有非常重要的作用。
- 陈元培陈旭南李展高洪涛陈献忠
- 关键词：原子光刻CCD柯拉照明
- 光子晶体器件的研究进展及前景被引量：4
- 2004年
- 光子晶体器件是近年来迅速发展起来的一类微纳器件,可以操控光子的运动行为,并具有损耗极低、体积小、易集成的优点。本文综合论述了光子晶体器件的几种主要设计方法的优缺点、指出了加工制作中的技术难点所在,还介绍了两种常用的耦合技术,最后对光子晶体的未来作了展望。
- 石建平陈旭南张小玉张磊安卫军秦涛
- 关键词：光子晶体器件光子禁带PWMFDTD
- 驻波透镜聚焦原子束制作纳米图形研究被引量：6
- 2003年
- 介绍了将激光驻波聚焦原子束技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计。研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性及像差 ,数值结果显示原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为 10nm左右 ,可以实现纳米级超微细图形的制作。
- 陈元培陈旭南李展陈献忠
- 关键词：原子光学原子光刻
- 激光驻波透镜聚焦原子束制作超微细图形研究
- 2003年
- 介绍将原子束激光准直技术和驻波聚焦沉积技术用于制作纳米级图形的基本原理和实验系统设计。研究了驻波透镜对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在原子束高度准直的情况下 ,原子束在置于焦平面处的基底上所沉积的条纹半高宽为 10nm左右 ,可以实现纳米级超微细图形的制作。
- 陈元培李展陈旭南陈献忠
- 关键词：原子光学原子束驻波激光准直技术微细加工
