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上海市科学技术委员会资助项目(10dz1100702)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：李倩张建华李喜峰更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶法
  • 1篇溶胶-凝胶法...
  • 1篇凝胶法制备
  • 1篇晶体管
  • 1篇薄膜晶体
  • 1篇薄膜晶体管
  • 1篇ZNO
  • 1篇A-I

机构

  • 1篇上海大学

作者

  • 1篇李喜峰
  • 1篇张建华
  • 1篇李倩

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
热处理气氛对溶胶-凝胶法制备a-InGaZnO TFT器件的影响
2013年
采用溶胶-凝胶法制备了非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,通过热重-差热示差技术分析了a-IGZO形成机理,并研究了热处理对a-IGZO薄膜的结构和光电性能影响。并用于薄膜晶体管(TFT)的有源层,制备的a-IGZO TFT,其具有明显的转移特性,其关态电流为10-11 A,退火能够改善a-IGZO TFT器件性能,器件的开关比提高了两个数量级。
李倩李喜峰张建华
关键词：溶胶-凝胶法薄膜晶体管
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共1页<1>
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