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国防科技重点实验室基金(51432050205DZ2304)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：池志鹏赵正平吕苗杨瑞霞更多>>
相关机构：河北半导体研究所河北工业大学更多>>
发文基金：国防科技重点实验室基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇体声波
  • 1篇体声波谐振器
  • 1篇谐振器
  • 1篇滤波器
  • 1篇薄膜体声波谐...

机构

  • 1篇河北半导体研...
  • 1篇河北工业大学

作者

  • 1篇杨瑞霞
  • 1篇吕苗
  • 1篇赵正平
  • 1篇池志鹏

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
薄膜体声波谐振器及其应用被引量：3
2006年
综合阐述薄膜体声波谐振器技术,简要介绍了薄膜体声波谐振器技术及其发展历程,对其物理模型和等效电路模型进行了回顾,对该器件的三种结构和及其制作方法进行了分析,并讨论了其使用的压电材料和电极材料,最后给出了该器件在微波领域的典型应用和相关指标。
池志鹏赵正平吕苗杨瑞霞
关键词：体声波谐振器滤波器
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