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湖北省高等学校省级教学研究项目(20060270)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：侯想胥明张磊马志斌更多>>
相关机构：杭州大华仪器制造有限公司武汉工程大学更多>>
发文基金：湖北省高等学校省级教学研究项目更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇微波等离子体
  • 1篇教学

机构

  • 1篇武汉工程大学
  • 1篇杭州大华仪器...

作者

  • 1篇马志斌
  • 1篇张磊
  • 1篇胥明
  • 1篇侯想

传媒

  • 1篇大学物理

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多功能微波等离子体教学研究装置的研制
2009年
针对目前国内等离子体技术的教学和研究远远落后于工程应用的实际情况,开发了多功能微波等离子体教学研究装置.该装置利用频率2.45GHz的微波激励稀薄气体放电,形成轴对称的等离子体球,产生的等离子体无内部电极,可避免放电污染.同时通过微波技术、真空技术、冷却技术的集成,使该装置结构紧凑、性能稳定、性价比较高.利用该装置进行了金刚石薄膜沉积与离子体诊断实验,效果良好.
张磊侯想胥明夏明荣马志斌
关键词：微波等离子体
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共1页<1>
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