博士科研启动基金(11QDZ24)
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
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- 相关领域：化学工程更多>>
- 外场下NBT-KBT100x压电薄膜畴变演化、保持特性及印记的研究被引量：3
- 2013年
- 采用金属有机物分解法制备了不同K含量的弛豫型压电薄膜(1-x)Na0.5Bi0.5TiO3-xK0.5Bi0.5TiO3(NBT-KBT100x)。利用压电力显微镜研究了外场条件下纳米级铁电畴翻转,以及保持性能和印记失效。结果表明:(1)不同组分中,NBT-KBT17薄膜单畴态的晶粒个数最多。选取NBT-KBT17薄膜分别测试了其面内极化分量和面外极化分量,该薄膜的面内压电信号较强,这说明薄膜在d31模式下的压电响应明显。(2)选择NBT-KBT17薄膜中较大尺寸的单晶,实现了对弛豫性铁电体的电畴写入。将其在大气环境下放置不同时间,出现了退极化现象,但总的畴态稳定,表明其保持性能较好。(3)制备了NBT-KBT17原理型薄膜电容器,分别测试了加载作用前后NBT-KBT17薄膜电容器的相位和振幅滞后回线图。结果表明外加作用力使相位回线向右发生了一定的移动,且振幅的蝶形曲线均在不同方向上发生了偏移,同时形状也发生了改变。最后,利用空间电荷原理分析了外加力导致薄膜印记产生的机理。
- 朱哲郑学军张丹书
- 关键词：保持性印记
- 退火温度对Bi_(3.15)(Eu_(0.7)Nd_(0.15))Ti_3O_(12)铁电薄膜力学性能的影响被引量：1
- 2013年
- 利用金属有机物分解法(MOD)在Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上制备了Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12(BENT)薄膜,并经600℃、650℃、700℃、750℃退火处理。通过纳米压痕法测试了薄膜的硬度和弹性模量,采用X射线衍射(XRD)测量了薄膜的残余应力。BENT薄膜的晶粒尺寸随着退火温度的升高而不断变大。当晶粒尺寸从37 nm增大到46 nm时,薄膜的硬度值从8.4 GPa减少到3.1 GPa,弹性模量从171.5 GPa减小到141.6 GPa。随着退火温度从600℃升高到750℃时,薄膜的残余压应力值从–743 MPa减小到了–530 MPa。退火温度为600℃的BENT薄膜具有最大的硬度和弹性模量。
- 蒋大洞郑学军龚跃球朱哲彭金峰
- 关键词：残余应力退火温度
