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国家自然科学基金(51275157)
作品数:
2
被引量:5
H指数:2
相关作者:
王选择
杨练根
张帅
翟中生
刘文超
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相关机构:
湖北省现代制造质量工程重点实验室
湖北工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
一般工业技术
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湖北工业大学
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作者
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杨练根
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王选择
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刘文超
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翟中生
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张帅
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2018
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一种针对频率扫描测量系统的信号处理方法
被引量:2
2013年
设计了一种针对频率扫描绝对距离测量系统的信号处理算法。该系统采用基于电流调制式的频率扫描方法,利用一个比对干涉光路与一个测量干涉光路进行同步测量。两路扫描干涉信号分别由两个光电探测器进行光电转换,作为绝对距离计算处理的输入信号。分析TN量系统的原理与扫描干涉信号的特点,应用两步差分卷积算法进行信号处理,提取的比对光路与测量光路的周期或频率信息进行绝对距离测量。分析了该算法的周期计算误差。实验验证这种方法具有较大的计算优势。
王选择
张帅
翟中生
杨练根
刘文超
关键词:
计量学
绝对距离测量
电流调制
多波长表面形貌测量系统中波长校准方法
被引量:3
2018年
表面形貌测量在光学元件加工制造和表面功能特性评定等方面有着非比寻常的意义。设计一种三波长轮换的表面形貌测量系统,与传统的白光相移干涉扫描等方法相比较,能够有效扩大测量深度以及形貌精度。多波长测量中波长带来的误差会极大的影响测量的精度,需要准确的校准波长。围绕三波长轮换表面形貌干涉测量系统,提出了利用平面镜干涉图校准三个滤光片波长的方法。通过对粗糙度样本的测量实验及计算结果显示:用校准后的波长计算标准方波样板得到的表面粗糙度数据与未使用为校准波长测得的结果相比其精度提高了1.3%,与标准数据相比较其相对误差仅为4.1%。
杨练根
杨光明
王选择
关键词:
光学测量
表面形貌
多波长
波长校准
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