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公益性行业科研专项(2007GYJ001)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：卢明臻崔建军高思田施玉书杜华更多>>
相关机构：中国计量科学研究院更多>>
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相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇计量学
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇干涉仪

机构

  • 1篇中国计量科学...

作者

  • 1篇杜华
  • 1篇施玉书
  • 1篇高思田
  • 1篇崔建军
  • 1篇卢明臻

传媒

  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多倍程激光干涉仪光路几何特性分析被引量：3
2008年
针对纳米计量高分辨力的要求，应用光学倍程法设计了一套基于Michelson激光干涉仪原型的多倍程激光干涉系统。该系统光源由保偏光纤直接导入，采用共光路、立体空间布局设计。通过建立模型分析该干涉系统的几何特性，得出移动镜偏转对该系统带来的影响可以得到有效补偿，因而光路具有很好的稳定性。出射的参考光与测量光始终保持平行，便于干涉系统光路的整体布局与信号接收，同时易于光路的调节从而获得对比度高、信噪比好的干涉信号。
施玉书高思田卢明臻崔建军杜华
关键词：计量学干涉仪
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