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天津市自然科学基金(13JCYBJC17300)

作品数：6 被引量：23H指数：3
相关作者：刘华松季一勤刘丹丹姜玉刚姜承慧更多>>
相关机构：天津津航技术物理研究所哈尔滨工业大学同济大学更多>>
发文基金：天津市自然科学基金国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 5篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇光学
  • 3篇离子束
  • 3篇离子束溅射
  • 3篇溅射
  • 3篇光学常数
  • 2篇电子束蒸发
  • 2篇色散
  • 2篇色散特性
  • 1篇短程有序
  • 1篇氧化物薄膜
  • 1篇折射率
  • 1篇振子模型
  • 1篇中波
  • 1篇入射
  • 1篇入射光
  • 1篇透射
  • 1篇透射率
  • 1篇退火
  • 1篇退火温度
  • 1篇中心波长

机构

  • 5篇天津津航技术...
  • 2篇哈尔滨工业大...
  • 1篇钦州学院
  • 1篇同济大学
  • 1篇中国航天科工...
  • 1篇中国航天

作者

  • 6篇季一勤
  • 6篇刘华松
  • 5篇姜玉刚
  • 5篇刘丹丹
  • 4篇姜承慧
  • 3篇孙鹏
  • 2篇陈德应
  • 2篇冷健
  • 1篇鲍刚华
  • 1篇焦宏飞
  • 1篇白继元
  • 1篇张锋
  • 1篇程鑫彬
  • 1篇贺泽龙
  • 1篇庄克文
  • 1篇杨守斌
  • 1篇吴炳俊

传媒

  • 3篇光学学报
  • 2篇物理学报
  • 1篇光学精密工程

年份

  • 4篇2014
  • 2篇2013
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
光学薄膜特性的锥角效应数值分析被引量：2
2014年
建立非平行光入射多层膜的模型,给出了在圆形光束锥角入射时的薄膜特性表达式,对三类典型光学薄膜即多腔滤光片、非偏振分光薄膜和非偏振截止滤光薄膜的特性进行了数值实验。研究结果表明:随着光束入射锥角的增加,多腔滤光片的影响是中心波长向短波方向移动,透射率下降和通带形状退化;非偏振分光薄膜的s和p偏振透射率增加,宽带波纹度增加;非偏振截止滤光薄膜的通带透射率出现周期振荡,s偏振的通带波纹度大于p偏振,通带波纹度总体具有增加的趋势,过渡区的陡度具有变大的趋势。
刘华松王利栓刘丹丹姜承慧姜玉刚孙鹏季一勤
关键词：透射率
热处理对离子束溅射Ta_2O_5薄膜特性的影响被引量：5
2014年
利用离子束溅射沉积技术制备了Ta2O5薄膜,在100～600℃的大气氛围中对其进行热处理（步进温度为100℃）,并对热处理后样品的光学常数（折射率、折射率非均匀性、消光系数和物理厚度）、应力、晶向和表面形貌进行了研究.研究显示,随着热处理温度增加,薄膜折射率整体呈下降趋势,折射率非均匀性和物理厚度呈增加趋势,结果有效地改善了薄膜的消光系数和应力,但薄膜的晶向和表面形貌均未出现明显的变化.结果表明：热处理可以有效改变薄膜特性,但需要根据Ta2O5薄膜具体应用综合选择最优的热处理温度.本文对离子束溅射Ta2O5薄膜的热处理参数选择具有指导意义.
刘华松姜承慧王利栓刘丹丹季一勤陈德应
关键词：离子束溅射退火温度光学常数薄膜折射率
SiO_2薄膜内部短程有序微结构研究被引量：2
2013年
SiO2薄膜是重要的低折射率材料之一,针对离子束溅射(IBS)和电子束蒸发(EB)的SiO2薄膜,采用红外光谱反演技术获得在400—1500 cm 1波数内的介电常数,通过对介电能损函数的分析获得了两种薄膜在横向和纵向光学振动模式下的振动频率和Si—O—Si键角.研究结果表明,在EB SiO2薄膜短程有序范围内,SiO4的连接方式主要是类柯石英结构、3-平面折叠环和热液石英结构的SiO4连接方式;在IBS SiO2薄膜短程有序范围内,SiO4的连接方式复杂主要是类柯石英结构、3-平面折叠环、4-平面折叠环结构和类热液石英结构.
刘华松季一勤姜玉刚王利栓冷健孙鹏庄克文
关键词：SIO2薄膜离子束溅射电子束蒸发短程有序
SiO_2薄膜的可见光与红外波段光学常数的色散特性被引量：5
2013年
离子束溅射(IBS)与电子束蒸发(EBE)是常用的SiO2薄膜制备方法。基于椭圆偏振法和全光谱拟合法,研究了离子束溅射和电子束蒸发两种工艺方法制备的SiO2薄膜的可见光与红外波段光学常数色散特性。在可见光波段的色散,SiO2薄膜的折射率均高于块体材料;在红外波段的色散,通过对特征吸收峰分析确定了SiO2薄膜的化学缺陷。研究结果表明:IBS SiO2薄膜的化学缺陷少于EBE SiO2薄膜,仅存在少量的H2O分子和Si-OH化学键,在EBE SiO2薄膜中,除这两种缺陷外还包含大量的Si-H化学键缺陷,说明EBE SiO2薄膜中的化学反应缺陷多于IBS SiO2薄膜,从而证明采用IBS工艺可有效控制SiO2薄膜的化学缺陷。
刘华松王利栓姜承慧刘丹丹姜玉刚吴炳俊季一勤
关键词：离子束溅射电子束蒸发
周期结构薄膜在折射率色散下反射区特性研究被引量：2
2014年
周期性结构是光学薄膜设计的基本物理模型,给出了反射区中心波长的一般性条件,研究了在膜层材料存在折射率色散情况下,等厚周期结构和非等厚周期结构的薄膜反射区中心波长与带宽特性.研究结果表明：在等厚和非等厚周期结构中,考虑膜层材料折射率色散与忽略色散情况相比,中心波长向长波方向移动,反射级次与相对波数的线性关系偏离;在薄膜光学厚度一定的非等厚周期结构中,高折射率层光学厚度大于低折射率层时,反射级次与相对波数的线性关系偏离度高;非等厚周期结构薄膜的带宽在低反射级次上小于等厚周期结构,同时膜层的色散对反射带宽影响不大.
白继元贺泽龙杨守斌刘华松刘丹丹姜承慧王利栓姜玉刚孙鹏季一勤
金属氧化物薄膜在中波红外光谱区内光学常数色散特性被引量：10
2014年
基于金属氧化物薄膜材料在中波红外波段应用的需求,研究了含水状态的TiO2、HfO2、Ta2O5和Y2O34种金属氧化物薄膜在中波红外波段内（2.5～5μm）光学常数的色散特性。利用电子束蒸发沉积技术,在超光滑的硅表面制备了4种氧化物薄膜,基于洛仑兹振子介电常数色散模型,通过透射率光谱反演计算了4种氧化物薄膜的光学常数。研究结果表明：4种氧化物均有少量的水分子、羟基,水含量从少到多的薄膜依次为TiO2、HfO2、Ta2O5和Y2O3,在远离水吸收的位置,消光系数从小到大的薄膜分别为TiO2、HfO2、Ta2O5和Y2O3;在电子束蒸发沉积工艺条件下,为了降低水的影响,TiO2和HfO2是中红外波段较为理想的金属氧化物薄膜材料。
刘华松季一勤张锋刘丹丹冷健王利栓姜玉刚陈德应焦宏飞鲍刚华程鑫彬
关键词：金属氧化物薄膜光学常数
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