国家高技术研究发展计划(2005AA1Z2030)
- 作品数：2 被引量：26H指数：2
- 相关作者：王光玉刘坤巴德纯常学森张振厚更多>>
- 相关机构：东北大学中国科学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- Noise Reduction of Multistage Dry Roots Vacuum Pump Applied in IC Industry
- Multistage dry Roots vacuum pumps (MDRVPs) are widely applied in IC industry as one kind of dry vacuum pumps a...
- Kun Liua
- 圆弧包络线在罗茨转子型线设计中的应用被引量：17
- 2007年
- 罗茨转子是罗茨鼓风机、罗茨压缩机、罗茨流量计和罗茨真空泵等设备中最关键的核心部件。罗茨转子的设计成功与否,对这些设备的性能至关重要。本文使用计算机动画编程的方法,对圆弧包络线的生成和性质进行了研究,并将其应用于罗茨转子型线的设计中。文中还引入了形状系数c和峰顶系数c1,详细给出不同类型的圆弧型线的罗茨真空泵容积利用系数随形状系数c和峰顶系数c1的变化情况。文末给出了一个转子加工的实例。
- 刘坤巴德纯张振厚王光玉常学森金璐
- 关键词：型线设计啮合原理动画编程
- 一种适于直排大气的罗茨干泵转子的型线与结构被引量：9
- 2007年
- IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右。罗茨转子是罗茨真空泵的最关键的核心部件。本文基于啮合原理,通过计算机动画编程和理论计算,提出一种适合直排大气罗茨干泵的转子型线,并对型线和转子结构进行改进,使加工更为简单。分析了容积利用系数和转子间隙分布,并得出结论:(1)改进型线的容积利用系数的改变量在5%以内,对抽气性能影响不大;(2)转子啮合时的间隙分布绝对误差在0.025mm以内,并不影响泵的热力学及抽气性能,验证了结构改进的合理性。文末还介绍了一个改进结构罗茨转子加工的实例。
- 刘坤巴德纯张振厚王光玉常学森杨乃恒
- 关键词：罗茨真空泵型线设计啮合原理
