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国家高技术研究发展计划(2008AA0422409)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：王淑珍陈育荣王生怀谢铁邦更多>>
相关机构：华中科技大学湖北汽车工业学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇数值孔径
  • 1篇光源
  • 1篇干涉仪
  • 1篇白光干涉
  • 1篇测量仪

机构

  • 1篇湖北汽车工业...
  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇谢铁邦
  • 1篇王生怀
  • 1篇陈育荣
  • 1篇王淑珍

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用被引量：4
2010年
为测量微机电系统的表面结构,研制了一种基于白光干涉法的表面结构测量仪。设计了显微干涉仪,通过实验分析了显微干涉仪关键设计参数中的光源带宽、物镜数值孔径、孔径光阑大小对垂直扫描白光显微干涉测量中干涉条纹光强分布的影响;设计了Z向一维位移工作台,提出了一种以显微干涉图像灰度值归一化标准方差为依据的白光干涉测量条纹自动搜索定位方法。相关实验结果为白光干涉表面结构测量仪的优化设计提供了参考依据。
王生怀王淑珍陈育荣谢铁邦
关键词：光源数值孔径
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