中央高校基本科研业务费专项资金(2012HGQC0007)
- 作品数：3 被引量：5H指数：1
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- 双光栅绕射辐射器件谐振系统Q值分析与结构优化
- 2014年
- 对双光栅绕射辐射器件谐振系统的Q值特性进行了分析,研究了谐振系统结构参数对Q值的影响及其优化措施。结果表明,双光栅绕射辐射器件谐振结构的Q值受矩形槽宽度和球面开放腔长度的影响最为明显。与奥罗管相比,双光栅绕射辐射器件中光栅的引入对Q值的影响要小得多,且光栅齿宽和齿深的增加都会导致谐振系统Q值降低。
- 邓光晟杨军阮久福
- 关键词：双光栅谐振腔Q值
- THz振荡器双光栅开放腔的高频特性被引量：1
- 2014年
- 针对双开槽的双光栅开放式谐振腔,提出了一种基于矩形波导谐振腔理论的计算方法,给出TE04模式场分布的结构设计修正公式,用于进行准光学谐振腔结构设计优化,通过增强电子注区域的电场强度,可有效提高电子效率。同时对双光栅慢波结构"冷"色散特性进行了计算,分析了不同参数对其高频特性的影响。结果表明,双光栅槽宽和电子注通道宽度的变化会对其色散特性的频带上限产生较大影响。
- 杨路路杨军邓光晟董必良阮久福席洪柱
- 关键词：双光栅谐振结构色散
- 太赫兹金属双光栅超厚胶光刻工艺被引量：4
- 2014年
- 介绍了制备某太赫兹频率真空辐射光栅的超厚胶光刻工艺,针对工艺中的难点(大厚度和高深宽比)展开了深入分析。实验分析了基片处理、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影等工艺过程对光刻的影响,通过优化工艺参数,解决了胶膜脱落、开裂,不同胶层间的结合,光栅沟槽间的光刻胶残留等问题,成功制备了厚度为700μm、深宽比为14的侧壁陡直、表面平整的双光栅结构胶膜。
- 单云冲阮久福杨军邓光晟吕国强
- 关键词：双光栅太赫兹光刻
