江西省教育厅科技计划项目(GJJ09385)
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 相关作者：付淑英刘波杨祚宝廖卫兵罗玉峰更多>>
- 相关机构：韩山师范学院新余学院南昌大学更多>>
- 发文基金：江西省教育厅科技计划项目江西省新余市自然科学基金江西省教育厅青年科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术动力工程及工程热物理更多>>
- 直流磁控溅射制备太阳光谱选择性吸收TiN薄膜被引量：1
- 2010年
- 以直流反应磁控溅射方法作为制备手段,选择Ti为靶材,以氩气作为工作气体、氮气为反应气体,在Si(111)基底上制备太阳光谱选择性吸收薄膜TiN,使之具有较好的光谱选择吸收特性。研究发现:在其它工艺参数保持不变的情况下,溅射气压在0.35～1.50Pa范围内,都能制备出(200)择优取向的立方相TiN。而当溅射气压为0.35Pa时沉积的薄膜致密、均匀,色泽金黄,膜厚为132nm,结晶性最好,电阻率最低为33.8μΩ·cm(接近块体氮化钛电阻率)。在可见-近红外光区(波长400～1000nm)的平均吸收率α=0.83,最高红外反射率R=0.90。通过对膜层结构、膜厚、吸收率及反射率的分析,制备的TiN薄膜光谱选择性吸收特性良好,具有很高的应用价值。可用于太阳集热器的吸热表面,并可直接作为光热转换建筑材料。
- 付淑英
- 硅太阳电池光谱响应测试技术研究被引量：4
- 2012年
- 对太阳电池光谱响应理论及测试技术的进行了研究,通过绝对光谱响应与量子效率的依赖关系,由绝对光谱响应测数据推导出了太阳电池的外量子效率。采用LabVIEW虚拟仪器技术,系统地将计算机与单色仪、锁相放大器等仪器硬件结合起来,设计了一套集成化及自动化程度较高的太阳电池光谱响应测量系统。系统扫描光谱范围为400～1 200 nm,步进波长最小可达1 nm,可满足硅太阳电池光谱响应测试的需要。该测试系统对硅太阳电池光谱响应及偏置光源下的量子效率进行多次测试,结果表明:测量系统稳定性高,重复性能较好。
- 罗玉峰杨祚宝廖卫兵张发云刘波李玲
- 关键词：太阳电池光谱响应量子效率LABVIEW
- 溅射气压对磁控溅射TiN薄膜光学性能的影响被引量：2
- 2010年
- 采用直流反应磁控溅射方法在Si(111)基底上沉积了氮化钛薄膜。研究了在溅射沉积过程中,改变腔体气压对所制备的薄膜结构及性能的影响。研究发现:在保持其它工艺参数不变的条件下,沉积的TiN薄膜在不同溅射气压下生成的物相不同,薄膜的主要成分是立方相TiN,薄膜的结晶均显示出明显的TiN(200)择优取向。在腔体气压为0.5 Pa时出现的TiN(200)衍射峰最强、择优取向最明显。随着腔体气压的增加,薄膜厚度变小,而衍射峰则呈减弱的趋势,TiN薄膜的生长可能无择优取向。当腔体气压为0.35 Pa时,膜层致密均匀,没有大尺寸缺陷且粗糙度好,薄膜的结晶度最好,表面也最光滑,在测试波长范围内对光的平均反射率最大,可满足光学薄膜质量方面的要求。
- 付淑英
- 关键词：氮化钛薄膜磁控溅射溅射气压光学性能
