国家自然科学基金(61077086)
- 作品数：6 被引量：11H指数：2
- 相关作者：许忠保邬文俊王心怡陈林邹爽更多>>
- 相关机构：湖北工业大学湖北省现代制造质量工程重点实验室华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金湖北省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 基于数字光栅模板的光变图像形成方法
- 2013年
- 研究了以数字光栅模板形成光变图像的方法,搭建了以Lcos空间光调制器为图像发生器的光刻实验平台。该方法与传统光刻技术相比有两大改进:采用数字光栅模板替代分束元件及机械旋转结构;以Lcos为图像发生器,采用面阵式的曝光得到高质量的具有位相信息的任意光斑图形。该方法的分辨率可达1000线/mm,能够制作出高质量的光变图像,如2D/3D图像以及各种精密的微刻图像和文字。
- 周万根许忠保钟毓宁苏昊
- 关键词：激光直写空间光调制器
- 大景深显微成像方法研究被引量：2
- 2013年
- 为了扩大系统的景深,本文研究了基于"0、"二元纯相位模板增大系统景深的方法,并设计了一种三区环型二元相位模板。通过相位模板实现对系统光瞳的调制,使系统的MTF具有离焦不变性,从而避免了系统成像信息的丢失,达到增大景深的目的。最后利用光学设计软件Zemax分别对传统光学显微系统和增加了"0、"二元相位模板的大景深显微系统进行模拟,通过对比二者的成像结果可以得出:利用二元相位模板可以在保证较高分辨率的前提下,增大系统的景深。
- 邹爽许忠保吕清花
- 关键词：调制传递函数
- 大焦深数字灰度光刻物镜设计被引量：2
- 2013年
- 为了提高数字灰度光刻系统的焦深,研究了基于点扩散函数稳定性的光瞳编码优化方法,在此基础上综合考虑系统的成像对比度和分辨率,利用工程计算软件MAPLE和光学设计软件ZEMAX设计了一种分辨率为1μm的含有5区相位型光瞳滤波器的长焦深数字灰度光刻系统。结果表明,系统调制传递函数表现出离焦不变性,在保证像方分辨率的前提下,系统的焦深被延拓到原有焦深的2.5倍以上,且在整个焦深空间内系统性能与焦点处保持一致,从而提高了光刻系统的工艺容限。所得实验结果与理论分析一致,说明了设计的可行性。
- 胡思熠许忠保
- 关键词：光学设计
- 点阵全息防伪标识的衍射效率测量研究
- 2015年
- 提出了一种测量点阵全息图衍射效率的方法,搭建了光学系统。通过在系统光路中放置平面反射镜,巧妙地将正负一级衍射光与其他级次的衍射光分离开,使光电探测器只接收正负一级衍射光,并且这种测量方法不受被测点干涉条纹方向变化的影响;在激光器后面放置一个半透半反波片,用两个相同的光电探测器分别实时测量反射光和衍射光的功率,降低了由于激光器功率不稳定造成的测量误差,得到八种不同的点阵全息防伪标识的衍射效率的测量结果。
- 吴警政许忠保周胜飞
- 关键词：衍射效率光电探测器
- 基于博奇编码离轴全息方法的研究被引量：5
- 2014年
- 研究了一种计算全息编码过程中使原始像与共轭像分离的方法。通过对傅里叶变换计算全息图再现过程的分析,采用将原物抽样点镶嵌到比原物大的全零矩阵中的方法代替载频参数的计算,来实现原始像与共轭像的分离。对新矩阵进行离散傅里叶变换,利用博奇编码方式制作出计算全息图,并在图像重构时利用高通滤波器消除背景光干扰对重构视觉效果的影响。采用该方法制作的计算全息图可通过控制全零矩阵的大小来控制再现时原始像与共轭像的分离程度,全零矩阵越大,其分离程度越大。实验结果表明,全零矩阵为原物大小的4倍时可使原始像与共轭像刚好分离。但是为了方便滤除零级光斑,全零矩阵需稍大于原物大小的4倍。
- 陈林许忠保邬文俊周胜飞王心怡
- 关键词：计算全息傅里叶变换离轴
- 基于液晶空间光调制器的消色差透镜被引量：2
- 2018年
- 依据标量衍射理论,在分析消除轴向及倍率色差条件的基础上,利用纯相位液晶空间光调制器的可编程控制特性,将红、绿、蓝三种色光调制的菲涅耳透镜与闪耀光栅镶嵌在一起,通过随机等概率的复用方法,在液晶空间光调制器上编程,实现了具有共同焦距的三色光复用透镜,消除了轴向色差.同时,通过对红、绿、蓝三色光调制的菲涅耳透镜孔径的约束,实现了三色光在焦平面处相同的聚焦光斑半径大小和强度,消除了倍率色差.实验结果表明,通过该方法,复用透镜的轴向色差以及倍率色差都得到了有效矫正,在三色光入射下其艾里斑半径为67pixel,与具有相同焦距和分辨率的单色透镜产生的艾里斑半径65pixel接近.
- 许忠保陶伟森王双迎陈威宋丛珊金万慧辜凌鹰吴钦刘凤鸣
- 关键词：空间光调制器
