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国家高技术研究发展计划(04Z3)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：徐淑静吕树海徐爱东徐永青杨拥军更多>>
相关机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇速度传感器
  • 1篇热对流
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇杨拥军
  • 1篇徐永青
  • 1篇徐爱东
  • 1篇吕树海
  • 1篇徐淑静

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型三轴MEMS热对流加速度传感器的研究被引量：8
2008年
介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器,它没有活动质量,无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量。分析了该器件的工作原理,设计了器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机。测试表明:该器件实现了三个轴向的加速度信号的检测性能,验证了新原理的可行性;测量量程达到±2g,分辨率达到1mg,抗冲击能力达到10000g,具备了良好的性能。
吕树海杨拥军徐淑静徐爱东徐永青
关键词：微电子机械系统加速度传感器
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