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国家重点基础研究发展计划(2011CB301800-G)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：陈欣赵泽宇赵青罗先刚王长涛更多>>
相关机构：电子科技大学中国科学院更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇多层膜
  • 1篇多层膜结构
  • 1篇亚波长
  • 1篇亚波长光栅
  • 1篇纳米光刻
  • 1篇纳米光刻技术
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻技术
  • 1篇光栅
  • 1篇表面等离子体
  • 1篇波长
  • 1篇超分辨
  • 1篇超分辨成像

机构

  • 1篇电子科技大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇梁高峰
  • 1篇王长涛
  • 1篇罗先刚
  • 1篇赵青
  • 1篇赵泽宇
  • 1篇陈欣

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于多层膜结构的亚波长光栅研究被引量：1
2012年
利用表面等离子体共振效应理论及金属-介质复合膜的特殊纳米光学效应对平面多层膜超分辨光刻技术进行了研究.在曝光光源为365 nm的情况下,实现周期230 nm,线宽100 nm的超分辨光刻成像.讨论了均匀金属-介质多层膜的结构参数选择,并通过数值仿真得到有效的光强度和对比度,然后用等离子体纳米光刻进行试验验证,通过最优化选择,最终得到了亚波长结构多层膜的大区域范围超分辨成像.
梁高峰赵青赵青陈欣王长涛赵泽宇
关键词：表面等离子体超分辨成像纳米光刻技术
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共1页<1>
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