国家自然科学基金(51175519)
- 作品数:5 被引量:15H指数:3
- 相关作者:段小刚沈平张兴宇王鑫李涵雄更多>>
- 相关机构:中南大学香港城市大学长沙理工大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术更多>>
- 基于扰动观测器的固化炉温度解耦控制被引量:3
- 2016年
- 固化炉是微电子制造过程的重要设备,它内部的温度分布具有大时滞、强耦合、非线性的特点。针对固化炉温度模型复杂和加热板热效应耦合的问题,将最小二乘法及阶跃响应法相结合,在工作点附近对固化炉温度建立一阶惯性延时模型,基于扰动观测器(disturbance observer)对芯片固化炉设计了解耦控制系统,实现了不同加热板之间的解耦控制。仿真和实验结果表明,该解耦控制方法能够抑制加热板之间的耦合影响,超调和稳态误差都较小,在过程控制中的同类系统中有较好的推广应用价值。
- 王鑫沈平张兴宇
- 关键词:固化炉最小二乘法扰动观测器解耦控制
- 基于ELM的芯片固化炉炉温建模方法被引量:1
- 2015年
- 利用一种较新的数据学习方法——极限学习机(Extreme learning machine,ELM),对芯片固化炉炉温进行了基于数据的建模与预测。其数据信息由当固化炉在指定温度工作时,在MATLAB/Simulink环境下,通过d SPACE实时仿真平台采集得来。从实验结果看出,该模型预测精度高、运算速度快,对工业上有快速、准确需求的实时自动化控制有较高的实际应用价值。
- 张兴宇徐康康王鑫
- 基于时空分离AFM微悬臂的模糊PID控制研究被引量:4
- 2013年
- 针对原子力显微镜(AFM)微悬臂的柔性特征,提出了一种基于时空变量分离的模糊PID控制方法。由于AFM的微悬臂探针的运动精度非常高,对扰动很敏感,因而需建立微悬臂的分布参数系统模型。在保持柔性微悬臂的空间振动特性的基础上,将基于时空变量分离控制方法,结合鲁棒性强的模糊PID控制方法运用到AFM微悬臂探针的控制上,这样使控制器的设计不用考虑空间耦合的影响。通过实验仿真结果,这种方法有效地提高了AFM的微悬臂探针的控制性能和稳定性。
- 龙运栋段小刚李涵雄
- 关键词:原子力显微镜微悬臂分布参数系统模糊PID
- 模糊PID双层参数整定及其在固化炉中的应用被引量:5
- 2018年
- 提出了一种模糊PID(proportion integration differentiation)控制器的双层参数整定方法。将模糊PID控制器的参数整定分为比例因子的整定与模糊隶属度函数参数整定2部分。推导出模糊PID控制器的解析模型,该解析模型包括线性部分和非线性补偿2个部分。整定的过程中,把模糊PID控制器解析模型的非线性补偿看作过程扰动,由线性部分和被控对象的二阶纯时滞模型,基于系统的增益裕度关系,导出模糊PID控制器的比例因子。再基于粒子群优化算法(PSO,particle swarm optimization)对三角隶属度函数进行优化,使控制器进一步适应被控对象的动态特性。仿真结果表明了研究方法的有效性以及应用在芯片固化炉的温度控制过程中,提升温度控制的效果。
- 沈平段小刚
- 关键词:模糊PID参数整定PSO
- 基于改进PSO算法的四旋翼飞行器飞控系统PID参数整定被引量:2
- 2021年
- 针对四旋翼飞行器飞控系统中存在PID控制器参数难以整定的问题,提出一种改进的粒子群算法,应用于PID参数的整定优化中.为了让粒子群在算法早期拥有较强的全局搜索能力,在算法后期拥有较强的局部开发能力和较快的收敛速度,该改进算法采用了一种可使惯性权重非线性下降的调整策略;同时,算法融合了遗传算子,进一步加快了收敛速度,避免算法陷入局部最优.将该算法应用于PID控制器的参数优化,以实数编码的形式直接生成与PID参数组对应的粒子群,并把控制系统的误差性能指标作为评价粒子群的适应度函数.通过与标准粒子群算法与手动调参的阶跃响应对比分析,发现改进算法其阶跃响应曲线超调量更小,调节时间更短,响应速度更快,动态性能更优.提出的改进算法能对四旋翼飞行器飞控系统中的PID参数进行较好的优化,实现更好的控制效果,使得飞行器在飞行过程中更加平稳.
- 付俊庆林朗
- 关键词:粒子群算法四旋翼飞行器PID参数整定
- Multi-Modeling for Nonlinear Distributed Parameter Processes Using Spatio-Temporal Kernel
- <正>Many industrial processes are nonlinear distributed parameter systems(DPS) that have significant spatio-tem...
- Chenkun Qi~1
- 文献传递